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박막 트랜지스터 및 이의 제조방법, 이를 이용한액정표시장치 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015127503
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 트랜지스터 및 이의 제조방법, 이를 이용한 액정표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 특히 박막 트랜지스터는 기판, 상기 기판 상부의 소정부위에 형성되는 게이트 전극, 상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 형성되는 게이트 절연막, 상기 게이트 전극 중앙 부분의 게이트 절연막 상에 형성되는 자화금속, 상기 자화 금속을 둘러싸면서 형성되고 상기 자화금속의 측면과 자장입자에 의해 결합되는 나노물질로 이루어진 반도체층, 상기 반도체층 상부의 중앙 부위에 형성된 고정판, 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극과 중첩되어 상기 자화금속 및 반도체층을 덮도록 형성되는 드레인 전극 및 상기 반도체층의 양측면을 덮도록 형성되는 소스 전극을 포함하여 구성됨에 그 특징이 있다.액정표시장치, 박막트랜지스터, 나노와이어, 자화금속, 자장입자
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) G02F 1/1368 (2006.01)
CPC G02F 1/136(2013.01) G02F 1/136(2013.01) G02F 1/136(2013.01) G02F 1/136(2013.01)
출원번호/일자 1020060057902 (2006.06.27)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1243792-0000 (2013.03.08)
공개번호/일자 10-2008-0000252 (2008.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20130318) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.21)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차승환 대한민국 인천광역시 남동구
2 명재민 대한민국 경기 고양시 일산동구
3 정민창 대한민국 인천광역시 부평구
4 채기성 대한민국 인천광역시 연수구
5 박미경 대한민국 경기 안양시 동안구
6 이보현 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0456726-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0468936-24
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2011.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0599329-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0457484-12
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0814920-12
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0814922-03
12 등록결정서
Decision to grant
2013.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0019594-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상부의 소정부위에 형성되는 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 형성되는 게이트 절연막;상기 게이트 전극 중앙 부분의 게이트 절연막 상에 형성되는 자화금속;상기 자화 금속을 둘러싸면서 형성되고 상기 자화금속의 측면과 자장입자에 의해 결합되는 나노물질로 이루어진 반도체층; 상기 반도체층 상부의 중앙 부위에 형성된 고정판; 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극과 중첩되어 상기 자화금속 및 반도체층을 덮도록 형성되는 드레인 전극; 및 상기 반도체층의 양측면을 덮도록 형성되는 소스 전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막 트랜지스터
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 자화금속은 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 박막 트랜지스터
3 3
제 1 항에 있어서,상기 자장입자는 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 박막 트랜지스터
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 나노 물질은 나노와이어, 나노케이블 및 나노튜브 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 고정판의 길이는 소스/드레인 전극의 간격보다 크고, 나노와이어의 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터
7 7
기판;상기 기판 상부의 소정부위에 형성되는 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 형성되는 게이트 절연막;상기 게이트 전극 중앙 부분의 게이트 절연막 상에 형성되는 자화금속;상기 자화 금속을 둘러싸면서 형성되고 상기 자화금속의 측면과 자장입자에 의해 결합되는 나노물질로 이루어진 반도체층; 상기 반도체층 상부의 중앙 부위에 형성된 고정판; 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극과 중첩되어 상기 자화금속 및 반도체층을 덮도록 형성되는 드레인 전극; 상기 반도체층의 양측면을 덮도록 형성되는 소스 전극;상기 반도체층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 형성되며, 상기 드레인 전극 상부에 콘택홀을 구비한 보호막; 및상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 형성된 화소전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 자화금속은 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치
9 9
제 7 항에 있어서,상기 자장입자는 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 나노 물질은 나노와이어, 나노케이블 및 나노튜브 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치
11 11
삭제
12 12
제 7 항에 있어서,상기 고정판의 길이는 소스/드레인 전극의 간격보다 크고, 나노와이어의 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 액정표시장치
13 13
기판 상부 소정의 부위에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 중앙 부분의 게이트 절연막 상에 자화금속을 형성하는 단계;상기 자화금속을 둘러싸면서 상기 자화금속의 측면과 자장입자에 의해 결합되는 나노물질로 구성된 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층 상부의 중앙 부위에 고정판을 형성하는 단계; 및 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 전극과 중첩되어 상기 자화금속 및 반도체층을 덮도록 드레인 전극을 형성하고, 상기 반도체층의 양측면을 덮도록 소스 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 자화금속은 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법
15 15
제 13 항에 있어서,상기 자장입자는 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법
16 16
제 13 항에 있어서, 상기 나노 물질은 나노와이어, 나노케이블 및 나노튜브 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조 방법
17 17
삭제
18 18
제 13 항에 있어서,상기 고정판은 상기 반도체층을 포함한 기판의 전면에 감광성 고분자층을 형성하는 단계; 및상기 감광성 고분자층을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조방법
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 감광성 고분자층은 포토 아크릴막을 사용하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터의 제조방법
20 20
기판 상부 소정의 부위에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 중앙 부분의 게이트 절연막 상에 자화금속을 형성하는 단계;상기 자화금속을 둘러싸면서 상기 자화금속의 측면과 자장입자에 의해 결합되는 나노물질로 구성된 반도체층을 형성하는 단계;상기 반도체층 상부의 중앙 부위에 고정판을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 전극과 중첩되어 상기 자화금속 및 반도체층을 덮도록 드레인 전극을 형성하고, 상기 반도체층의 양측면을 덮도록 소스 전극을 형성하는 단계; 상기 반도체층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 보호막을 형성하는 단계;상기 드레인 전극의 표면이 소정부분 노출되도록 상기 보호막을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성하는 단계; 및상기 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법
21 21
제 20 항에 있어서,상기 자화금속은 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법
22 22
제 20 항에 있어서,상기 자장입자는 철, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속 물질을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법
23 23
제 20 항에 있어서, 상기 나노 물질은 나노와이어, 나노케이블 및 나노튜브 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
24 24
삭제
25 25
제 20 항에 있어서,상기 고정판은 상기 반도체층을 포함한 기판의 전면에 감광성 고분자층을 형성하는 단계; 및상기 감광성 고분자층을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
26 26
제 25 항에 있어서, 상기 감광성 고분자층은 포토 아크릴막을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.