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트랜지스터의 채널 반도체와 게이트 절연막 사이의 계면에 장파장에서 단파장의 순서로 단일파장 광신호를 인가하는 단계; 상기 트랜지스터를 켜짐 상태(On-state)로 전환하고 상기 계면 내의 결함 준위를 여기시킴으로써 상기 순차적으로 인가한 파장들의 광신호에 대해 각 파장별로 게이트 전압과 드레인 전류 사이의 관계에 기반하여 파장별 문턱 전압을 측정하는 단계;상기 파장별 문턱 전압에 기반하여 상기 계면에 유도된 결함 전하량을 연산하는 단계; 및상기 결함 전하량으로부터 에너지 준위당 계면 결함 농도를 산출하는 단계를 포함하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 방법
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제 1 항에 있어서,상기 광신호를 인가하는 단계는다파장 광원에서 생성되는 다파장 광신호를 단일파장 필터로 장파장에서 단파장의 순서로 필터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 방법
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제 2 항에 있어서,상기 광신호를 인가하는 단계는상기 단일파장 필터에서 필터링되어 나오는 광을 광섬유로 상기 계면에 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 방법
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제 1 항에 있어서,상기 에너지 준위당 계면 결함 농도를 산출하는 단계는Qeff(ε)이 상기 계면의 결함 전하량, q가 단위 전하량, CBM이 전도대의 최소 에너지(Conduction Band Minimum), ε이 단일파장 광신호의 에너지, VBM이 가전자대의 최대 에너지(Valence Band Maximum), E가 에너지 준위일 때, 상기 에너지 준위당 계면 결함 농도 D(E)는 의 관계식을 이용하여 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 방법
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제 1 항에 있어서,상기 에너지 준위당 계면 결함 농도를 산출하는 단계는Qeff(ε)이 상기 계면의 결함 전하량, q가 단위 전하량, ε이 단일파장 광신호의 에너지, VBM이 가전자대의 최대 에너지(Valence Band Maximum), E가 에너지 준위일 때, 상기 에너지 준위당 계면 결함 농도 D(E)는 의 관계식을 이용하여 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터 시스템에서 실행하기 위한 프로그램이 기록된, 컴퓨터 시스템이 판독할 수 있는 기록매체
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트랜지스터의 채널 반도체와 게이트 절연막 사이의 계면에 단파장의 순서로 단일파장 광신호를 인가하는 광 인가부; 및상기 트랜지스터의 게이트에 전압을 인가하여 상기 트랜지스터를 켜짐 상태(On-state)로 전환하고 상기 계면 내의 결함 준위를 여기시킴으로써, 상기 순차적으로 인가한 파장들의 광신호에 대해 각 파장별로 게이트 전압과 드레인 전류 사이의 관계에 기반하여 파장별 문턱 전압을 측정하고, 상기 파장별 문턱 전압에 기반하여 상기 계면에 유도된 결함 전하량을 연산하며, 상기 결함 전하량으로부터 에너지 준위당 계면 결함 농도를 산출하는 결함 분석부를 포함하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 장치
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제 7 항에 있어서,상기 광 인가부는다파장의 광신호를 생성하는 다파장 광원; 및상기 다파장 광신호로부터 장파장에서 단파장의 순서로 광신호를 필터링하는 단일파장 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 장치
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제 8 항에 있어서,상기 광 인가부는상기 단일파장 필터에서 필터링되어 나오는 광을 상기 계면에 조사하는 광섬유를 포함하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 장치
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제 8 항에 있어서,상기 결함 분석부는CBM이 전도대의 최소 에너지(Conduction Band Minimum), Vth가 문턱 전압, ε이 단일파장 광신호의 에너지, Cox가 절연막의 정전용량, q가 단위 전하량일 때, 연속된 단파장 에너지에 따른 미분을 통해 에너지 준위에 따른 계면 전하 농도 를 구하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 장치
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제 8 항에 있어서,상기 결함 분석부는VBM이 가전자대의 최대 에너지(Valence Band Maximum), Vth가 문턱 전압, ε이 단일파장 광신호의 에너지, Cox가 절연막의 정전용량, q가 단위 전하량일 때, 연속된 단파장 에너지에 따른 미분을 통해 에너지 준위에 따른 계면 전하 농도 를 구하는 것을 특징으로 하는, 광전 분광 기법을 이용한 계면 결함 분석 장치
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