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반도체 회로 장치 및 그에 내장된 메모리들을 검사 및 수리하는 방법

  • 기술번호 : KST2015127708
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 회로 장치 및 그에 내장된 메모리들을 검사 및 수리하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 회로 장치는, 다수의 메모리; 상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하고, 상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및 상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 수리부;를 포함할 수 있다.
Int. CL G11C 29/00 (2006.01)
CPC G11C 29/12(2013.01) G11C 29/12(2013.01) G11C 29/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140027933 (2014.03.10)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1553347-0000 (2015.09.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.10)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강성호 대한민국 서울특별시 종로구
2 강우헌 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0231595-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0086470-68
5 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060422-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0138730-15
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0408310-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0408309-71
9 등록결정서
Decision to grant
2015.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0588971-99
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 메모리;상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득한 후, 상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 순차적으로 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 수리부;를 포함하는 반도체 회로 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 검사부는:상기 다수의 메모리를 동시에 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하는 반도체 회로 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보는 해당 메모리의 랩퍼(wrapper)에 저장되는 반도체 회로 장치
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 검사부는:상기 고장 셀이 많은 순서대로 상기 다수의 메모리를 재검사하는 반도체 회로 장치
6 6
다수의 메모리;상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하고, 상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 수리부;를 포함하고,상기 검사부는:재검사 시, 상기 위치 정보가 획득된 고장 셀의 개수가, 검사 시 획득된 해당 메모리 내 고장 셀의 개수와 일치하게 되면, 해당 메모리에 대한 재검사를 종료하는 반도체 회로 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 수리부는:각 메모리에 대한 재검사가 완료되면, 재검사가 완료된 해당 메모리의 수리를 시작하여 고장을 수리하기 위한 수리 방법을 결정하는 반도체 회로 장치
8 8
다수의 메모리;상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하고, 상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 수리부;를 포함하고,상기 수리부는, 상기 고장이 발생한 메모리를 수리하기 위한 수리 방법이 없는 경우, 상기 검사부로 메모리 수리 불가를 통보하고,상기 검사부는, 상기 메모리 수리 불가를 통보받으면, 상기 다수의 메모리에 대한 재검사를 종료하는 반도체 회로 장치
9 9
반도체 회로 장치에 내장된 다수의 메모리를 상기 반도체 회로 장치에 구비된 검사부 및 수리부를 이용하여 검사하고 수리하는 방법에 있어서,일차적으로 상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하는 단계;이차적으로 상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 순차적으로 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 단계; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 단계;를 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
10 10
삭제
11 11
제 9 항에 있어서,상기 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하는 단계 후,상기 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 해당 메모리의 랩퍼에 저장하는 단계를 더 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
12 12
삭제
13 13
제 9 항에 있어서,상기 다수의 메모리를 순차적으로 재검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 단계는:상기 고장 셀이 많은 순서대로 상기 다수의 메모리를 재검사하는 단계를 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
14 14
반도체 회로 장치에 내장된 다수의 메모리를 상기 반도체 회로 장치에 구비된 검사부 및 수리부를 이용하여 검사하고 수리하는 방법에 있어서,상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하는 단계;상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 단계; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 단계;를 포함하고,상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 단계는:상기 위치 정보가 획득된 고장 셀의 개수가, 검사 시 획득된 해당 메모리 내 고장 셀의 개수와 일치하게 되면, 해당 메모리에 대한 재검사를 종료하는 단계를 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
15 15
제 9 항에 있어서,상기 고장이 발생한 메모리를 수리하는 단계는:각 메모리에 대한 재검사가 완료되면, 재검사가 완료된 해당 메모리의 수리를 시작하는 단계를 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
16 16
반도체 회로 장치에 내장된 다수의 메모리를 상기 반도체 회로 장치에 구비된 검사부 및 수리부를 이용하여 검사하고 수리하는 방법에 있어서,상기 다수의 메모리를 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하는 단계;상기 고장 셀의 개수 정보를 기반으로 상기 다수의 메모리를 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 단계; 및상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하는 단계;를 포함하고,상기 고장이 발생한 메모리를 수리하는 단계는, 상기 고장이 발생한 메모리를 수리하기 위한 수리 방법이 없는 경우, 상기 검사부로 메모리 수리 불가를 통보하는 단계를 포함하며,상기 메모리 검사 및 수리 방법은, 상기 검사부가 상기 메모리 수리 불가를 통보받으면, 상기 다수의 메모리에 대한 재검사를 종료하는 단계를 더 포함하는 메모리 검사 및 수리 방법
17 17
다수의 메모리;상기 다수의 메모리를 동시에 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득한 후, 상기 고장 셀이 많은 순서대로 상기 다수의 메모리를 순차적으로 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및각 메모리에 대한 재검사가 완료되면 재검사가 완료된 해당 메모리의 수리를 시작하여, 상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하기 위한 수리 방법을 결정하는 수리부;를 포함하는 반도체 칩
18 18
다수의 메모리;상기 다수의 메모리를 동시에 검사하여 각 메모리 내 고장 셀의 개수 정보를 획득하고, 상기 고장 셀이 많은 순서대로 상기 다수의 메모리를 순차적으로 재검사하여 각 메모리 내 상기 고장 셀의 위치 정보를 획득하는 검사부; 및각 메모리에 대한 재검사가 완료되면 재검사가 완료된 해당 메모리의 수리를 시작하여, 상기 고장 셀의 개수 정보 및 위치 정보를 기반으로 고장이 발생한 메모리를 수리하기 위한 수리 방법을 결정하는 수리부;를 포함하고,상기 검사부는:재검사 시, 상기 위치 정보가 획득된 고장 셀의 개수가, 검사 시 획득된 해다 메모리 내 고장 셀의 개수와 일치하게 되면, 해당 메모리에 대한 재검사를 종료하는 반도체 칩
19 19
제 18 항에 있어서,상기 수리부는, 상기 고장이 발생한 메모리를 수리하기 위한 수리 방법이 없는 경우, 상기 검사부로 메모리 수리 불가를 통보하고,상기 검사부는, 상기 메모리 수리 불가를 통보받으면, 상기 다수의 메모리에 대한 재검사를 종료하는 반도체 칩
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 중견연구자지원 초미세폭 3차원 반도체 제조비용 절감을 위한 설계 및 테스트 기술 연구