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이종(異種)유체를 공급받아 상기 이종유체를 혼합하는 미세 유로를 구비하는 마이크로 믹서(500A, 500B)로서,일단부에 제 1 유체가 유입되는 제 1 공급유로(110) 및 타단부에 제 2 유체가 유입되는 제 2 공급유로(120)를 구비하는 일직선 형태의 공급유로(100);상기 공급유로(100)의 중앙부와 연통되고, 소정의 거리만큼 이격되어 배치되어 소정의 각도로 꺽인 다수의 유로 절곡부(310)를 구비하는 혼합유로(300); 및상기 혼합유로(300)의 타단부에 형성되고, 제 1 유체와 제 2 유체의 혼합 유체가 배출되는 배출유로(400);를 포함하되,상기 제 1 유체와 제 2 유체는 유로 절곡부(310)를 지나면서 테일러-괴틀러 와류(Taylor-Gortler Vortex)를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 공급유로(110)로 제 1 유체를 공급하는 압력은, 제 2 공급유로(120)로 제 2 유체를 공급하는 압력과 동일한 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 1 항에 있어서,상기 공급유로(100)와 혼합유로(300) 사이에는,상기 공급유로(100)의 중앙부에 수직으로 연통되는 일단부, 및 상기 혼합유로(300)와 연통되는 타단부를 구비하는 일직선 형태의 유입유로(200)가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 1 항에 있어서,상기 유로 절곡부(310)에 의해 절곡된 각 혼합유로(300)가 이루는 사이각(a1, a2)은, 20 도 내지 120 도 인 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 1 항에 있어서,상기 혼합유로(300)의 평면상 폭(W1, W2) 대비 혼합유로(300)의 측면상 수직 높이(H1, H2)의 비율(Duct aspect ratio, H1/W1, H2/W2)은, 1
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제 1 항에 있어서,상기 혼합유로(300)의 평면상 폭(W1, W2) 대비 혼합유로(300)의 각 유로 절곡부(310) 사이의 평면상 길이(L1) 비율(L1/W1, L2/W2)은, 1
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이종(異種)유체를 공급받아 상기 이종유체를 혼합하는 미세 유로를 구비하는 마이크로 믹서(500C, 500D)로서,제 1 유체를 공급하고, 제 2 공급유로(120)의 형성방향과 대향하는 방향으로 형성되고, 혼합유로(300)의 일단부와 연통되는 제 1 공급유로(110);제 2 유체를 공급하고, 상기 제 1 공급유로(110)의 형성방향과 대향하는 방향으로 형성되고, 혼합유로(300)의 일단부와 연통되는 제 2 공급유로(120);상기 제 1 공급유로(110) 및 제 2 공급유로(120)와 일단부에서 연통되고, 소정의 거리만큼 이격되어 배치되고 소정의 각도로 꺽인 다수의 유로 절곡부(310)를 구비하는 혼합유로(300); 및상기 혼합유로(300)의 타단부에 형성되고, 제 1 유체와 제 2 유체의 혼합 유체가 배출되는 배출유로(400);를 포함하되,상기 제 1 유체와 제 2 유체는 유로 절곡부(310)를 지나면서 혼합유로(300) 내부에서 테일러-괴틀러 와류(Taylor-Gortler Vortex)를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 공급유로(110)와 제 2 공급유로(120)는 90 도 내지 180 도의 각도(a0)를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 공급유로(110)로 제 1 유체를 공급하는 압력은, 제 2 공급유로(120)로 제 2 유체를 공급하는 압력과 동일한 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 7 항에 있어서,상기 공급유로(100)와 혼합유로(300) 사이에는,상기 제 1 공급유로(110) 및 제 2 공급유로(120)와 연통되는 일단부, 및 상기 혼합유로와 연통되는 타단부를 구비하는 일직선 형태의 유입유로(200)가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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제 7 항에 있어서,상기 유로 절곡부(310)에 의해 절곡된 각 혼합유로(300)가 이루는 사이각(a3, a4)은, 20 도 내지 120 도 인 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서
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12
제 7 항에 있어서,상기 혼합유로(300)의 평면상 폭(W3, W4) 대비 혼합유로(300)의 측면상 수직 높이(H3, H4)의 비율(Duct aspect ratio, H3/W3, H4/W4)은, 1
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13
제 7 항에 있어서,상기 혼합유로(300)의 평면상 폭(W3, W4) 대비 혼합유로(300)의 각 유로 절곡부(310) 사이의 평면상 길이(L3, L4) 비율(L3/W3, L4/W4)은, 1
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제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 믹서를 제작하는 방법(S100)으로서,a) 공급유로, 혼합유로 및 배출유로의 형상을 갖는 금형인서트를 준비하는 금형준비단계;b) 상기 금형인서트에 폴리머를 몰딩하는 몰딩단계;c) 상기 몰딩단계에서 몰딩한 폴리머를 취출하는 취출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서 제작방법
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제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 믹서를 제작하는 방법(S200)으로서,a) 마이크로 믹서를 이루는 소재로 구성되고, 마이크로 믹서의 측면 높이와 대응되는 두께를 가지는 기판을 준비하는 기판준비단계; 및b) 기판의 표면을 바로 식각하여, 마이크로 믹서의 유로를 직접 형성하는 유로형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서 제작방법
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제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 믹서를 제작하는 방법(S300)으로서,폴리머 물질(Polymer material)을 이용한 임프린팅(imprinting) 방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 믹서 제작방법
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제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 믹서를 포함하는 것을 특징으로 하는 분석시스템
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