스텝모터(14)와 기어(14)에 의해 회전되는 시료홀더(HOLDER)(10)로서 시료(8)이 지지된 진공용기(1)아래 증발물질(2)이 내입된 전자총의 증발원(3)을 설치하고 증착실(A)과 증발원실(B)를 격막(3)으로 분리하여 각기 고진공배기기기(4)를 연동하며 진공용기(1)는 다시 상부실(5)과 하부실(6)로 분리하고 상부실은 모터(7)로서 승강되게 하며, 전원장치(11)을 증대전국(12)에 연결하여 음극시료(8)와 증발원(3)사이에 설치하고 시료(8)에는 보호회로가 설치된 글로우 방전 전원장치(13)를 연결하며 진공용기(1)의 하부에 유량조절밸브(17)이 설치된 가스도입관(16)을 배관하며 2개의 고진공배기기(4)의 구조는 로타리펌프(4a)을 3웨이밸브(4b)로서 진공용기(1)에 연결함과 동시 유확산펌프(4a)에 연결되고 유확산펌프(4a)는 워트트랩(4d)를 경유 스라이드 밸브(4e)로서 진공용기(1)에 연결되게 한 일연의 구조로 결합된 삼극관식 이온 플레이팅 장치