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스퍼터링법에 의한 전자파 차폐용 금속박막 제조장치 및 제조방 법

  • 기술번호 : KST2015127970
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야본 발명은 스퍼터링법에 의한 전자파 차폐용 금속박막의 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제종래의 방법들은 부분코팅을 용이하지 않고 환경오염의 문제가 해결하며 작업과정을 복잡하여 경제적이지 못하고 피복형성시의 모재 표면에 고열이 발생하여 모재가 변형되는 문제점이 있음.3. 발명의 해결방법의 요지플라스틱 기판상에 전자파 차폐에 유용한 금속박막을 80℃ 이하에서 2~5㎛ 두께의 박막을 형성시키는 방법과 이를 위한 스퍼터 타겟 배열 및 시편이송을 포함한 본 발명의 제조장치에 의해 달성될 수 있음.4. 발명의 중요한 용도부분코팅을 용이하고 환경오염문제를 해결하며 작업과정을 단축하고 생산원가를 절감하며 피복형성시의 고열 문제를 해결할 수 있는 효과가 있음.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/3464(2013.01) C23C 14/3464(2013.01)
출원번호/일자 1019970019293 (1997.05.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1998-0083821 (1998.12.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.05.19)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건환 대한민국 경기도 평택시
2 권식철 대한민국 경상남도 창원시
3 서삼성 대한민국 대구광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태원 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 비와씨빌딩*층 (역삼동)(김태원국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062321-68
2 특허출원서
Patent Application		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062320-12
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062322-14
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.29 수리 (Accepted) 4-1-1999-0023978-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0146468-23
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085495-93
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.07.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0097569-09
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115145-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.09.07 수리 (Accepted) 4-1-1999-0115150-06
10 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1999.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0286882-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2000-0013536-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.03.03 수리 (Accepted) 4-1-2001-0023554-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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스퍼터링 장치에 있어서, 3개의 스퍼터 타겟(1), (2), (3)과, 상기 각각의 스퍼터 타겟(1), (2), (3)에 전압을 공급하는 3개의 고전압 전원 공급장치(4),(5),(6)와, 플라스틱 모재(9)를 탑재한 대차(8)와, 상기 대차(8)를 이송시키는 시편이송부(7)로 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링법에 의한 전자파 차폐용 금속박막 제조장치

2 2

스퍼터링 장치에 있어서, 3개의 스퍼터 타겟(1), (2), (3)과, 상기 각가의 스퍼터 타겟(1), (2), (3)에 전압을 공급하는 3개의 고전압 전원 공급장치(4),(5),(6)와, 플라스틱 모재(9)를 탑재한 대차(8)와, 상기 대차(8)를 이송시키는 시편이송부(7)로 구성되어, 상기 스퍼터 타겟(1), (2), (3)에 공급되는 전원의 전류밀도는 0

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.