베이스 플레이트;

상기 베이스 플레이트의 상면에 결합되는 중공형의 제1실린더 부재;

상기 제1실린더 부재의 상부에 결합되고 유체의 유동을 안내하기 위한 제1수단;

상기 제1실린더 부재와 상기 제1수단 사이에 설치되고 그 모양이 변화됨으로써 상기 제1수단 내로 유입되는 상기 유체의 양을 조절하기 위한 제2수단; 및

상기 제2수단의 모양을 변화시키기 위한 제3수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제1항에 있어서, 상기 제1수단은 상기 제1실린더 부재의 외경과 같은 외경을 갖고 그 저면이 개방된 중공형의 제2실린더 부재를 포함하며, 상기 제2실린더 부재의 상부에는 상기 유체를 그 내부로 도입하기 위한 제1개구부가 형성되고, 그 내경의 사이즈가 상기 제1개구부의 사이즈와 대략 같은 환형 가이드가 상기 제2실린더 부재와 일체로 상기 제1개구부로부터 하방향으로 연장되어 상기 제1개구부를 통해 유입되는 상기 유체를 상기 제2실린더 부재의 하부로 안내하며, 상기 제2실린더 부재의 일측에는 상기 유입된 유체를 외부로 배출시키기 위한 제2개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2개구부는 그 내주면이 암나사 처리되어 각각 유체 공급원과 연결되는 제1파이프 및 유정압 베어링과 연결되는 제2파이프의 숫나사부와 치합됨으로써 상기 유체 공급원 및 상기 유정압 베어링과 연통되는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제2항에 있어서, 상기 제2수단은 원형의 판스프링으로서, 그 사이즈가 상기 제1 및 제2실린더 부재의 외경과 같고, 상기 제1 및 제2실린더 부재 사이에 압입 설치되며, 그 저면으로부터 인가되는 힘에 의해 그 상방향으로 휘어지는 정도가 변화됨으로써, 그 상연과 상기 환형 가이드의 하단부와의 사이에 형성되는 모세관의 간극이 변화됨으로써 상기 제2실린더 부재로 유입되는 상기 유체의 양이 조절되도록 하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제4항에 있어서, 상기 제3수단은 상기 제1실린더 부재 내에 그 상단이 상기 판스프링의 저면과 접촉되도록 설치되는 압전 소자로서, 그에 인가되는 전압에 따라 상기 압전 소자의 상단의 상방향으로의 변위가 변화되어 상기 모세관의 간극을 변화시키는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제5항에 있어서, 상기 압전 소자에 인가되는 전압이 커지면 상기 압전 소자의 상단은 상방향으로 이동되며, 그에 따라 상기 모세관의 간극이 작아짐으로써 상기 제2실린더 부재 내로 유입되는 상기 유체의 양이 줄어들고, 반대로 상기 압전 소자에 인가되는 전압이 작아지면 상기 압전 소자의 상단은 하방향으로 이동되며, 그에 따라 상기 모세관의 간극이 커짐으로써 상기 제2실린더 부재 내로 유입되는 상기 유체의 양이 증가하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

제5항에 있어서, 상기 제1실린더 부재의 바닥벽에는 조정 나사가 설치되어 그를 조절하여 상기 압전 소자의 전체적인 상하 방향 위치를 조절함으로써 상기 모세관의 초기 간극을 세팅하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치

유체 공급원에 그 각 입구가 연결된 제1 및 제2가변 모세관 장치, 제1 및 제2고정 모세관의 각 출구와 그 각각의 포켓이 연통된 제1, 제2, 제3 및 제4유정압 베어링을 이용하여, 서로 평행하게 놓여진(juxtaposed) 제1 및 제2가이드 레일에 상기 제1 및 제2가이드 레일이 연장된 제1방향으로 이동 가능하게 결합된 테이블의 운동 오차를 보정하는 방법에 있어서:

(1) 상기 테이블 저면부의 상기 제1가이드 레일의 수직면과 대면(confronting)하는 제1면(first surface)의 제1측(first side)에 상기 제1유정압 베어링을 설치하는 단계;

(2) 상기 테이블 저면부의 제1면의 상기 제1측과 상기 제1방향으로 소정 간격 이격된 제2측에 상기 제2유정압 베어링을 설치하는 단계;

(3) 상기 테이블 저면부의 상기 제2가이드 레일의 수직면과 대면하는 제2면의, 상기 제1면의 상기 제1측과 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 나란한 위치의 제3측에 상기 제3유정압 베어링을 설치하는 단계;

(4) 상기 테이블 저면부의 상기 제2면의, 상기 제1면의 상기 제2측과 상기 제2방향으로 나란한 제4측에 상기 제4유정압 베어링을 설치하는 단계;

(5) 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 단계적으로 점증하는 전압을 인가하여 각 단계에서의 상기 테이블의 제2방향으로의 변위를 측정하는 단계;

(6) 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 인가되는 전압과 그에 따른 상기 테이블의 상기 제2방향으로의 변위 간의 관계를 산출(evaluating)함으로써 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치의 제1 및 제2게인(gain)을 구하는(determining) 단계;

(7) 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 전압을 인가하지 않은 상태에서 상기 테이블을 상기 제1방향으로 이송시키며 상기 테이블의 상기 제2방향으로의, 상기 테이블 및 상기 제1 및 제2가이드 레일의 진직도 및 평행도의 오차에 기인하는 오차 변위를 측정하는 단계; 및

(8) 상기 테이블이 상기 제1방향으로 이송되는 동안, 상기 오차 변위를 상쇄시킬 수 있도록, 상기 단계 (6)으로부터 구한 상기 제1 및 제2게인에 따라 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 상기 변화하는 오차 변위에 상응하는 변화하는 보정 전압을 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (5)에 있어서, 상기 테이블의 상기 제2방향으로의 변위는 상기 테이블의 상기 제1면의 상기 제1측과 상기 제2방향으로 나란한 제1위치, 상기 테이블의 상기 제1면의 상기 제2측과 상기 제2방향으로 나란한 제2위치 및 상기 제1 및 제2위치의 중앙에 위치한 제3위치에서 각각 측정되는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (5)에 있어서, 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치 내에 설치된 제1 및 제2압전 소자에 상기 점증하는 전압을 인가하여, 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치 내에 형성되어 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치 출구로 배출되는 상기 유체의 양을 조절하기 위한 제1 및 제2모세관의 간극을 조절함으로써 상기 제1 및 제2유정압 베어링의 각 포켓 압력을 변화시켜 상기 테이블의 상기 제2방향으로의 위치를 변화시키는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (6)에 있어서, 제1 및 제2게인은 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치 각각에 대해 상기 전압과 변위와의 관계를 대략 선형화시킴으로써 구하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (7)에 있어서, 상기 오차 변위는 반복성을 가짐으로써, 상기 테이블의 상기 제1방향으로의 이송시, 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 인가될 전압이 특정되는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (7)에 있어서, 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치는 각각 상기 오차 변위를 상쇄시킬 수 있는 최대 변위량을 갖는 제1 및 제2압전 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법

제8항에 있어서, 단계 (8)에 있어서, 상기 오차 변위는 상기 제1방향으로의 상기 테이블 및 상기 제1 및 제2가이드 레일의 진직도 에러(straightness error), 및 상기 제1 및 제2방향과 직교하는 수직한 방향에 대한 회전 에러(yaw error)를 포함하며, 상기 진직도 및 회전 에러는 상기 구해진 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치의 상기 제1 및 제2게인에 따라 상기 제1 및 제2가변 모세관 장치에 인가하는 전압을 달리함으로써 동시에 보정되는 것을 특징으로 하는 가변 모세관 장치를 이용한 운동 오차 보정 방법