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(i) 알루미늄/규소 분자체(molecular sieve) 담체의 양이온을 알칼리 토금속 양이온으로 치환시켜 제조된 알칼리 토금속 촉매 및 유전체를 플라즈마 반응기 내에 충진하는 공정; (ii) 상기 반응기에 유해물질을 포함하는 가스를 주입하는 공정; 및, (iii) 상기 반응기에 전력을 공급하여 저온 플라즈마를 발생시킴으로써 상기 유해물질을 분해하거나 산화시키는 공정을 포함하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 알루미늄/규소 분자체 담체는 형상이 비드, 펠렛 또는 하니콤 형상인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 알칼리 토금속은 Ba, Sr 또는 Ca인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 유전체는 재질이 글래스, 세라믹, 파이렉스 또는 BaTiO3인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 유해물질은 VOCs(volatile organic compounds), PFCs(perfluorocarbons), CFCs(chlorofluorocarbons), 다이옥신 및 질소산화물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 전력은 교류전력 또는 펄스전력인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 유해물질을 포함하는 가스에 수분 또는 과산화수소를 첨가하여 래디칼 생성을 촉진시키는 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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제 1항에 있어서, 상기 유해물질을 포함하는 가스를 주입하고 아르곤 또는 헬륨 가스를 추가로 주입하여 플라즈마를 안정화시키는 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마에 의한 유해가스 처리방법
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