기밀이 유지되는 기밀쳄버(11)와;

상기 기밀쳄버(11)내에 회전자재되게 설치되고 각기 시험오링(10)의 장착홈 (28-1,29-1)을 갖는 구동시험봉(18)과 종동시험봉(29)을 구비하되, 이들 구동시험봉(18)과 종동시험봉(29)간의 간격을 조절가능하도록 상기 종동시험봉(29)을 리니어가이드(6)에 의해 지지시킴과 동시에 상기 구동시험봉(18)을 기밀챔버(11)의 외측에 장착된 모터(9)에 연동하도록 구성된 시험구동부(32)와;

가스공급라인(16)을 통한 유해가스를 가스공급제어기(15)에 의해 제어되는 전자밸브(13) 또는 바이패스라인(16-1)의 조절밸브(14)을 통해 상기 기밀쳄버(11)내에 공급하도록 설치되는 유해가스공급부(30)와;

로터리펌프(26)를 작동시켜 1차 감압한 후, 오일확산펌프(22)를 이용하여 설정압력으로 2차 감압함으로써 상기 기밀쳄버(11)의 내압을 진공상태로 낮추는 진공형성부(31)와;

상기 기밀쳄버(11)의 내부를 가열하도록 설치되는 할로겐히터(13)와;

상기 기밀쳄버(11)내의 유해가스, 온도, 압력을 감지하도록 설치되는 센서 (12)와;

상기 기밀쳄버(11)내의 환경이 반도체장비의 프로세스쳄버와 동일상태를 이루도록 상기 유해가스공급부(30)와 진공형성부(31) 및 할로겐히터(13)를 제어하고, 상기 모터(9)의 구동속도 및 시간을 제어하도록 설치되는 제어부(27)를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체장비용 오링의 내구성시험장치