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실리콘기판(100) 상면에 구조물(110)을 형성시키는 공정과, AFM(Atomic Force Microscope) 팁(tip)의 끝부분에 금속 촉매(130)를 도포하고, 금속 촉매(130)가 도포된 AFM 팁(120)을 상기 구조물(110)의 상부에 위치시키는 공정과, 상기 구조물(110) 상에 금속 촉매(130)를 전이(transfer) 시키는 공정과, 상기 실리콘기판(100)과 금속 촉매(130)가 위치된 구조물(110)을 카본 가스와 열을 가할 수 있는 환경에 위치시켜 상기 구조물(110)의 상부에서 카본 나노튜브(140)를 성장시키는 공정을 포함하여 이루어진 카본 나노튜브의 제조방법에 있어서,상기 구조물의 상부는,상기 금속 촉매(Metal Catalyst)를 옮겨놓을 수 있도록 전이되는 금속 촉매를 구조물 위에 잘 고정되도록 하는 특징을 가진 Au의 화학물질을 도포하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제조된 나노튜브의 길이를 조절하기 위해, 디스차지(discharage)를 이용해 길이를 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물(110)의 상부에서 성장하는 카본 나노튜브의 방향 및 개수를 제어하기 위해, 상기 구조물(110)의 상부의 형상을 여러가지 형태로 바꿀 수 있는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 AFM 팁(120)의 끝부분에 도포되는 금속 촉매(130)는, 상기 구조물(110)에 잘 고정될 수 있도록 구조물의 형태를 내측 홈, 중앙 내측으로 비스듬한 경사홈, 요철이나 홈을 만드는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 AFM 팁(120)의 끝부분에 도포되는 금속 촉매(130)는, 상기 구조물(110)에 잘 고정될 수 있도록 구조물의 형태를 내측 홈, 중앙 내측으로 비스듬한 경사홈, 요철이나 홈을 만드는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브의 제조방법
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