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초미세 광필터 자동 측정방법 및 그 시스템

  • 기술번호 : KST2015128215
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초미세 광필터 자동 측정방법 및 그 시스템에 관한 것으로서, 메인프레임의 일측에 고정되어 있으며, 각종 광콜리메이터를 사용하여 광을 수광할 수 있도록 구성된 상부광콜리메이터와, 상부광콜리메이터의 하부에 위치하며, 각도, 상하, 좌우 및 회전 이동할 수 있도록 구성하여 상부광콜리메이터와 정렬하여 광을 발광할 수 있도록 구성된 하부광콜리메이터와, 광필터에 손상없이 상기 상부광콜리메이터와 상기 하부광콜리메이터 사이에 상기 광필터를 자동으로 위치시키고 다시 원위치로 복귀시키는 로더 및 언로더와, x축과 y축에 각각 설치되며 상기 로더 및 언로더에 로딩된 상기 광필터의 사진을 찍어 PC로 전송하여 상기 상부광콜리메이터 및 상기 하부광콜리메이터의 배치를 제어할 수 있도록 하는 액체찰상소자와, 상기 액체찰상소자의 정보에 따라 상기 하부광콜리메이터 및 상기 상부광콜리메이터의 이동 및 배치를 제어하고 상기 상부광콜리메이터로부터 광을 수광하면 이를 기설정된 다수의 광필터 정보를 가지고 있는 광필터 평가 데이터베이스의 광필터 정보와 비교하여 광필터가 소정의 조건을 만족시키는 지의 여부를 판단하는 시스템 제어부와, 시스템 제어부에 의해 광필터를 정해진 위치로 이동시키는 지그와, 정해진 위치로 이동된 상기 광필터를 고정시키고 움직이지 못하도록 잡아주는 픽스쳐를 포함하여 구성되며, 광필터 평가에 소요되는 시간을 단축시키고, 자동으로 초미세 광필터를 검사할 수 있도록 하여 향후 신생산 시스템이 갖는 고기능성 구현에 필요한 제조기술을 갖출 수 있도록 한 효과가 있다. 광필터, 박막, 필름, 필터, 콜리메이터, 시험, 검사, 검증, 초미세, 파장분할다중화(WDM)
Int. CL G01M 11/00 (2006.01)
CPC G01M 11/081(2013.01)
출원번호/일자 1020030048089 (2003.07.14)
출원인 한국기계연구원, 유종백
등록번호/일자 10-0467485-0000 (2005.01.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20050124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.07.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 유종백 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최두선 대한민국 대전광역시유성구
2 제태진 대한민국 대전광역시서구
3 황경현 대한민국 대전광역시서구
4 박한수 대한민국 충청북도청주시상당구
5 정태산 대한민국 경기도수원시권선구
6 이재일 대한민국 경기도수원시팔달구
7 유종백 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송윤기 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, *동 ****호(가산동, 롯데IT캐슬)(특허법인세아)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전 유성구
2 유종백 대한민국 경기도 수원시 팔달구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2003-0256688-68
2 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination		 2004.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0069829-13
3 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination		 2004.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2004-0179053-92
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0040718-84
6 대리인 해임 신고서
Report on Dismissal of Agent		 2004.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2004-0349869-18
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0344464-16
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.10.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0488408-66
9 의견서
Written Opinion		 2004.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0488405-29
10 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0555010-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1

메인프레임에 광필터를 로딩하여 광필터를 측정할 수 있는 초미세 광필터 자동 측정시스템에 있어서,

상기 메인프레임의 일측에 고정되어 있으며, 각종 광콜리메이터를 사용하여 광을 수광할 수 있도록 구성된 상부광콜리메이터와;

상기 상부광콜리메이터의 하부에 위치하며, 각도, 상하, 좌우 및 회전 이동할 수 있도록 구성하여 상부광콜리메이터와 정렬하여 광을 발광할 수 있도록 구성된 하부광콜리메이터와;

상기 광필터에 손상없이 상기 상부광콜리메이터와 상기 하부광콜리메이터 사이에 상기 광필터를 자동으로 위치시키고 다시 원위치로 복귀시키는 로더 및 언로더와;

x축과 y축에 각각 설치되며 상기 로더 및 언로더에 로딩된 상기 광필터의 사진을 찍어 PC로 전송하여 상기 상부광콜리메이터 및 상기 하부광콜리메이터의 배치를 제어할 수 있도록 하는 액체찰상소자와;

상기 액체찰상소자의 정보에 따라 상기 하부광콜리메이터 및 상기 상부광콜리메이터의 이동 및 배치를 제어하고 상기 상부광콜리메이터로부터 광을 수광하면 이를 기설정된 다수의 광필터 정보를 가지고 있는 광필터 평가 데이터베이스의 광필터 정보와 비교하여 광필터가 소정의 조건을 만족시키는 지의 여부를 판단하는 시스템 제어부와,

상기 시스템 제어부에 의해 광필터를 정해진 위치로 이동시키는 지그와,

정해진 위치로 이동된 상기 광필터를 고정시키고 움직이지 못하도록 잡아주는 픽스쳐를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초미세 광필터 자동 측정시스템

2 2

제1항에 있어서,

상기 각도, 상하, 좌우 및 회전 이동은 x, y, z, θx, θy 및 3

광을 발광하는 하부광콜리메이터와 이를 수광하는 상부광콜리메이터 및 이를 제어하는 시스템 제어부를 포함하는 초미세 광필터 자동 측정 방법에 있어서,

상기 하부 및 상부광콜리메이터를 정렬시키는 단계와;

상기 광필터를 로더 및 언로더에 로딩시키는 단계와;

상기 광필터를 픽스쳐 및 그리퍼가 파지하여 고정시키는 단계와;

소정의 영상촬상장치에서 전송한 영상을 수신하여 하부광콜리메이터를 각도, 상하, 좌우 및 회전 이동 방향으로 이동시켜 1차 정렬시키는 단계와;

상기 영상촬상장치에서 정송한 영상을 수신하여 상기 상부광콜리메이터의 Z 방향 이동 및 상기 하부광콜리메이터를 각도, 상하, 좌우 및 회전 방향으로 이동시켜 2차 정렬하는 단계와;

상기 영상촬상장치에서 전송한 영상을 수신하여 하부광콜리메이터의 틸트를 θx, θy 방향을 조정하여 정확하게 3차 정렬시키는 단계와;

상기 시스템 제어부는 상기 하부광콜리메이터, 상기 광필터 및 상기 상부광콜리메이터를 통해 수광된 광을 수광하고 상기 수광된 광을 분석하여 광필터를 검증하고 필터의 검증된 결과를 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초미세 광필터 자동 측정 방법

4 4

제1항에 있어서,

상기 각도, 상하, 좌우 및 회전 이동은 x, y, z, θx, θy 및
지정국 정보가 없습니다

패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.