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압전액추에이터(30)가 수용되는 내측에 유로(24)를 공유하는 다수의 유체펌핑실(23)에 유체흡입관(11)이 연결되는 흡입공(21)과 유체토출관(12)이 연결되는 토출공(22)이 형성되는 펌프케이스(20)와, 도전성탄성판(31)에 부착되는 압전소자(34)가 변위를 일으키며 펌프케이스(20)의 흡입공(21)으로 유입된 유체를 출구측 토출공(22)으로 펌핑시키고 각각의 유체펌핑실(23)에는 인접되는 유로(24)를 서로 공유하는 압전액추에이터(30)와, 상기 압전액추에이터(30)가 취부되어 이들이 서로 다른 변위를 이루며 연동하여 동작하고 각각의 압전액추에이터(30)들을 순차적으로 제어하도록 구성되는 콘트롤러(40)를 포함하는 압전펌프에 있어서,상기 콘트롤러(40)에 의해 제어되는 각각의 압전액추에이터(30)는 0°,90°,180°,270°의 변위 폭(위상차)을 이루며 동작하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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압전액추에이터(30)가 수용되는 내측 유체펌핑실(23)에 흡입공(21)과 토출공(22)이 형성되는 펌프케이스(20)와, 도전성탄성판(31)에 부착되는 압전소자(34)가 변위를 일으키며 펌프케이스(20)의 흡입공(21)으로 유입된 유체를 출구측 토출공(22)으로 펌핑하도록 된 압전액추에이터(30)와, 이를 제어하는 콘트롤러(40)를 포함하는 압전펌프에 있어서,상기 펌프케이스(20)는 그 상,하부측으로 또 다른 펌프케이스(201,202,203,204)가 다수 적층되고, 각각의 펌프케이스(20)에 조립되는 압전액추에이터(30)의 흡입공(21)과 토출공(22)은 그 상부측으로 적층되는 펌프케이스(202)의 토출공(22)과 흡입공(21)에 서로 연결되며 최상부측 펌프케이스(204)에는 가장 하부측에 위치한 펌프케이스(201)의 흡입공(21)과 직접 연결되는 유체흡입관(11)과 최상부측 펌프케이스(204)의 토출공(22)과 연결되는 유체토출관(12)이 함께 병설되고, 상기 펌프케이스(20)에 취부되는 각각의 압전액추에이터(30)는 이들이 서로 다른 변위를 이루며 연동하여 동작하도록 콘트롤러(40)가 순차적으로 제어하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제3항에 있어서, 상기 펌프케이스(20)의 일측면에는 가이드홈(26)이 형성되고, 상기 가이드홈(26)에는 리드선인출통로(271)가 형성된 가이드블럭(27)이 구비되어 상,하로 적층되는 펌프케이스(20)를 고정 및 분리하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제3항에 있어서, 상기 펌프케이스(20)의 일측면에는 가이드홈(26)이 형성되고, 상기 가이드홈(26)에는 리드선인출통로(271)가 형성된 가이드블럭(27)이 구비되어 상,하로 적층되는 펌프케이스(20)를 고정 및 분리하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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