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유전체 장벽 방전방식 원기둥 적층형의 저온 플라즈마 반응기의 세라믹 전극봉을 구성하는데 있어서, 일정 두께의 세라믹 튜브(11)의 내부에 금속 paste(12)를 인쇄하는 단계; 인쇄면이 노출된 상태에서 100-200℃에서 0
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유전체 장벽 방전방식 원기둥 적층형의 저온 플라즈마 반응기의 세라믹 전극봉을 구성하는데 있어서, 일정 두께의 세라믹 튜브(11)의 외경에 음각된 홈을 가공하는 단계; 상기의 음각 홈에 금속 paste(12)를 인쇄하는 단계; 인쇄면이 노출된 상태에서 100-200℃에서 0
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유전체 장벽 방전방식 원기둥 적층형의 저온 플라즈마 반응기의 세라믹 전극봉을 구성하는데 있어서, 내측의 세라믹 봉(21)이 필요하며, 소성단계 이전의 세라믹 재료인 green sheet(22)에 원하는 패턴의 금속전극 모양으로 금속 paste(12)를 인쇄하는 단계; 인쇄면이 노출된 상태에서 100-200℃에서 0
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 paste는 전도성 금속인 것을 특징으로 하는 저온 플라즈마 발생장치의 세라믹 전극봉의 제조방법
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유전체 장벽 방전방식 원기둥 적층형 저온 플라즈마 반응기를 구성하는데 있어서, 복수개의 세라믹 전극 봉(10)들이 동일한 중심상에서 서로 복수의 층을 형성하고, 상기 세라믹 전극 봉(10)사이에 일정 간격의 통공이 형성되고 상기 세라믹 전극 봉(10)을 일정간격으로 이격 되게 설치하고, 상기 복수개의 세라믹 전극 봉(10)은 세라믹 튜브(11)내부에 도포된 금속전극(12)과 용접되어 외부로 연결될 수 있는 전극리드(14)가 마련되며, 상기 복수개의 전극 봉(10)은 금속전극 연결 전극리드(14)가 이웃하는 전극 봉의 전극 단자 부분과 서로 반대 방향으로 엇갈려 배치하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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제 5 항에 있어서, 상기 복수개의 세라믹 전극봉(10)의 양단에 위치하여, 상기 전극봉(10)을 고정하기 위하여 마련된 전극봉 고정 구조물(15)을 더 포함하되 상기 전극봉(10)내의 금속전극(12)의 경계보다 바깥쪽에 위치하도록 하여 상기 전극봉 고정구조물(15)의 경계면 부근에서 스트리머 방전이 일어나지 못하도록 하는 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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제 5 항에 있어서, 복수개의 세라믹 전극봉(10)의 양단에 베어링을 포함하는 전극봉 고정구조물(15)이 부착되고, 상기 세라믹 전극봉(10)의 일 측면에 기어(17)가 부착되며, 상기 배열된 기어(17)들은 타이밍 벨트(16) 또는 체인(16)으로 연결되며, 상기 기어(17)가 부착된 세라믹 전극봉(10)의 일측면에 마련하고, 상기 복수개의 세라믹 전극봉(10)을 회전하도록 하는 조절수단으로서 조절 손잡이(20)를 장착하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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제 7 항에 있어서, 상기 조절수단으로서 전동모터(19)를 장착하여 프로그램에 의하여 자동으로 각각의 세라믹 전극봉(10)을 임의대로 회전시키는 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 서로 이웃하는 세라믹 전극봉(10)사이에 가이드 롤러(18)를 마련한 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 서로 이웃하는 세라믹 전극봉(10)사이에 가이드 롤러(18)를 마련한 것을 특징으로 하는 저 압력손실 및 저 에너지 밀도를 위한 저온 플라즈마 발생장치
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