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가공레이저의 초점이 가공물의 가공면 상에 위치하도록 제어하는 레이저 가공장치용 자동초점장치로서,가공용 레이저빔을 집속하는 집광렌즈를 구비하는 빔 집속부와, 상기 빔 집속부의 양쪽에 각각 결합된 발광부 및 수광부를 구비하는 측정모듈을 포함하며,상기 발광부는 측정용 빛이 조사되는 광조사부와, 상기 광조사부로부터 조사되는 빛이 가공면으로 조사되도록 빛을 집속하는 제1 렌즈를 구비하며,상기 수광부는 광센서와, 상기 가공면으로부터 반사된 측정용 빛이 상기 광센서로 조사되도록 빛을 집속하는 제2 렌즈를 구비하며,상기 발광부로부터 상기 가공면으로 조사되는 측정용 빛은 그 조사방향이 상기 가공면에 대해 예각을 갖도록 기울어지며,상기 발광부는 상기 광조사부와 제1 렌즈 사이에 위치하는 마스크 또는 오목렌즈를 더 구비하는 자동초점장치
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제3항의 자동초점장치에 있어서, 상기 발광부는 상기 광조사부, 제1 렌즈 및 마스크가 장착되는 제1 지지부재를 더 구비하며, 상기 수광부는 상기 제2 렌즈 및 광센서가 장착되는 제2 지지부재를 더 구비하는 자동초점장치
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제4항의 자동초점장치에 있어서, 상기 측정모듈은 빔 집속부에 고정결합되는 결합부재를 더 구비하며, 상기 발광부의 제1 지지부재와 상기 수광부의 제2 지지부재는 상기 결합부재에 결합되는 자동초점장치
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제4항의 자동초점장치에 있어서, 상기 발광부의 제1 렌즈와 마스크 및 상기 수광부의 제2 렌즈의 위치 및 각도가 조절가능한 자동초점장치
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제6항의 자동초점장치에 있어서, 상기 발광부는 상기 광조사부로부터 조사된 측정용 빛을 상기 가공면으로 안내하며 그 위치 및 각도가 조절가능한 적어도 하나의 프리즘 미러를 더 구비하며, 상기 수광부는 상기 가공면으로부터 방사된 측정용 빛을 상기 광센서로 안내하며 그 위치 및 각도가 조절가능한 적어도 하나의 프리즘 미러를 더 구비하는 자동초점장치
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제3항의 자동초점장치에 있어서, 상기 광센서는 PSD(Position Sensitive Device)인 자동초점장치
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제3항 내지 제8항 중 어느 하나의 청구항의 자동초점장치에 있어서, 상기 측정모듈 또는 상기 가공면을 가공용 레이저가 가공면으로 조사되는 방향을 따라 이동시키는 이동장치를 더 포함하는 자동초점장치
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제9항의 자동초점장치에 있어서, 상기 수광부의 광센서로부터 입력된 가공면과 가공초점 사이의 오차신호에 따라 이를 보상하는 제어신호를 상기 이동장치로 보내는 제어부를 더 포함하는 자동초점장치
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