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기계적 또는 전기적 장치에 장착되어 표면 신호 또는 화학, 생물학적 신호를 검출하거나 에너지 빔을 조사(照射)하는 소스(source)로서 활용이 가능한 나노 팁을 제조하는 방법에 있어서,일단이 상기 기계적 또는 전기적 장치에 고정되는 지지홀더를 제공하는 단계;상기 지지홀더의 자유단에 탄소나노튜브(carbon nanotube)를 부착하는 단계;상기 탄소나노튜브에 에너지 빔을 조사(照射)하여 상기 에너지 빔에 노출된 탄소나노튜브의 성질을 결정성에서 비결정성으로 변경시키는 단계; 및상기 비결정성으로 변경된 탄소나노튜브의 부분에 상기 에너지 빔을 조사하여 상기 탄소나노튜브를 절단하는 단계를 포함하는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 길이방향의 일측 끝단이 상기 지지홀더에 고정되는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 에너지 빔은 조사 방향 및 초점 위치를 제어할 수 있는, 이온 빔, 전자 빔, X-ray 및 레이저 빔을 포함하는 군에서 선택되는 어느 하나의 빔인 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브에 에너지 빔을 조사(照射)하는 단계는,상기 탄소나노튜브의 전체가 상기 에너지 빔에 노출되도록 상기 에너지 빔을 조사하는 것인 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브에 상기 에너지 빔을 조사하여 비결정성의 나노막대로 변경시키는 나노 팁의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 나노막대에 상기 에너지 빔을 조사하여 상기 나노막대의 일부를 절단하는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브를 절단하는 단계는,상기 탄소나노튜브의 절단할 부분에 상기 에너지 빔의 초점을 맞추고, 상기 탄소나노튜브의 길이방향으로 상기 에너지 빔을 조사하여 상기 탄소나노튜브의 일부를 잘라내는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브를 절단하는 단계는,상기 탄소나노튜브의 절단할 부분의 측면으로부터 상기 탄소나노튜브의 길이방향에 대하여 교차하는 방향으로 상기 에너지 빔을 조사하여 상기 탄소나노튜브의 일부를 잘라내는 나노 팁의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브에 상기 에너지 빔을 조사하여, 상기 에너지 빔에 노출된 탄소나노튜브의 표면을 더 매끄럽게 변경시키는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브에 상기 에너지 빔을 조사하여, 상기 에너지 빔에 노출된 탄소나노튜브의 끝단이 둥근 형상을 갖도록 변경시키는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소나노튜브에 상기 에너지 빔을 조사하여, 상기 에너지 빔에 노출된 탄소나노튜브를 길이방향으로 곧게 뻗은 형상으로 변경시키는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브에 상기 에너지 빔을 조사하는 단계는,상기 지지홀더에 상기 탄소나노튜브를 여러 개의 묶음형태로 부착하고, 상기 에너지 빔을 조사하여 상기 탄소나노튜브의 묶음을 하나의 나노막대로 변형시키는 것인 나노 팁의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 지지홀더가 전도체로 이루어지는 나노 팁의 제조방법
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제 1 항 내지 제 11 항, 제 15 항, 제 16 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된 나노 팁
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