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형상기억합금(shape memory alloy : SMA)부재를 포함하는 구동부;시변 자기장을 형성하여 상기 형상기억합금을 가열하는 유도 가열부;를 포함하는 액츄에이터(actuator)
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제 1 항에 있어서,상기 유도 가열부는 고주파 교류 전류를 인가하는 전원을 포함하는 액츄에이터
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제 1 항에 있어서,상기 구동부는 다수 개의 형상기억합금부재를 포함하는 액츄에이터
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제 1 항에 있어서,상기 유도 가열부는 판형상으로 이루어지는 액츄에이터
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제 1 항에 있어서,상기 유도 가열부는 코일을 포함하는 액츄에이터
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제 1 항에 있어서,상기 구동부는 봉형상으로 이루어지고, 상기 유도 가열부는 상기 구동부의 일부 또는 전체를 감싸는 코일 형태로 이루어지는 액츄에이터
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제 1 항에 있어서,상기 액츄에이터는 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System ; MEMS) 구동용인 액츄에이터
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형상기억합금부재를 포함하는 액츄에이터에 있어서,상기 형상기억합금부재에 인접하여 설치되고 고주파 전류를 공급하는 전원과 상기 전원으로부터 고주파 전류를 공급받아 시변 자기장을 발생시키는 액츄에이터 유도가열장치
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제 8 항에 있어서,상기 액츄에이터 유도 가열장치는 판상으로 이루어지는 액츄에이터 유도가열장치
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제 8 항에 있어서,상기 액츄에이터 유도 가열장치는 코일을 포함하는 액츄에이터 유도가열장치
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