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3자유도를 가지고 바닥면 방향으로 평면운동을 수행하는 수평운동부(300A)를 포함하고, 상기 수평운동부(300A)의 평면운동에 따라, 상기 평면운동부(300A)의 중심점을 포함하는 위치에 형성된 평면운동 기판부(12)를 3자유도로 평면운동시키는 평면구동부(300)와,1자유도를 가지고, 상기 평면운동 기판부(12)에 설치되어 상기 평면구동부(300)의 면에 대하여 수직방향으로 수직운동을 수행하는 수직구동부(100)와,상기 평면운동 기판부(12)와 상기 수직구동부(100) 사이에 위치하여 상기 평면운동 기팡부(12)에 상기 수직구동부(100)를 고정시키는 지지대(200)를 포함하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제1 항에 있어서, 상기 수평운동부(300A)는상기 중심점에 대하여 120ㅀ로 배열되고, 그 구조가 서로 같은 3개의 병렬조작기(310, 320, 330)를 포함하고,상기 평면운동 기판부와 각 병렬조작기는, 소정의 크기로 형성된 복수의 구멍들(303)과 그 구멍들(303)을 연결하는 소정의 폭을 갖는 슬릿들(302)에 의하여 형성되는 힌지들(304)에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제2 항에 있어서, 상기 각 병렬조작기 (310)는,소정의 운동을 일으키는 운동제어 기판부(1)와,상기 병렬조작기의 운동의 상대적인 기준점으로서, 상기 평면구동부에 포함된 조작기 기준판(301) 및 상기 운동제어 기판부와 힌지로 각각 연결되고, 상기 운동제어 기판부(1)의 제어에 따라, 상기 중심점(O)에 대하여 접선방향(Pt1)으로 이동하는 접선방향 구동부(4)와,상기 접선방향 구동부와 힌지로 연결되고, 상기 접선방향 구동부(4)의 운동에 따라 상기 중심점(O) 방향으로 반경운동을 수행하는 반경방향 구동부(8)를 포함하고,여기서, 상기 반경방향 구동부(8)와 다른 병렬조작기들의 반경반향 구동부는 힌지로 서로 연결되고, 상기 반경방향 구동부(8)와 다른 병렬조작기들의 반경반향 구동부의 평면운동에 따라, 상기 평면운동 기판부(12)가 3자유도로 평면운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제3 항에 있어서, 상기 운동제어 기판부(1)는상기 병렬조작기의 운동을 일으키는 소자인 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동 조작기
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제3 또는 제4 항에 있어서, 상기 접선방향 구동부(4)는상기 조작기 기준판(301)으로부터 소정 길이만큼 떨어진 위치에 형성된 접선운동 기준판(6)과,상기 조작기 기준판과 상기 접선운동 기준판을 연결하는 연결부 (4-1, 4-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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6
제5 항에 있어서, 상기 반경방향 구동부(8)는상기 접선운동 기준판(6)으로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에 그 접선운동 기준판(6)을 기준으로 반경방향으로 운동하는 반경운동 기준판 (10)과,상기 접선운동 기준판(6)과 상기 반경운동 기준판(10) 연결하는 연결부 (8-1, 8-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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7
제1 항에 있어서, 상기 수직구동부(100)는상기 평면구동부(300)의 면에 대하여 수직방향으로 운동을 수행하는 힌지부 (100-1)와,상기 힌지부(100-1)의 한 쪽 끝에 때에 따라 뗄 수 있게 부착되고 표본을 고정하며, 힌지부(100-1)의 동작에 따라 표본을 수직운동시키는 미세 그리퍼(micro gripper)를 포함하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제7 항에 있어서, 상기 힌지부(100-1)는소정의 부피(가로, 세로, 높이)를 갖도록 형성된 몸체부(103)와,몸체부(103)의 높이방향으로 위쪽 부분에 형성된 유연힌지(102)와,상기 몸체부(103)의 높이방향으로 상기 유연힌지(102)로부터 위쪽에 형성된 수직운동부(101)와,상기 몸체부(103)의 옆에 부착되고 유연힌지(102)를 중심으로 수직운동부(101)가 수직방향 (VR)으로 이동하는 운동을 제어하는 수직운동 제어부(104)를 포함하는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제8 항에 있어서, 상기 유연힌지 (102)는상기 몸체부(103)의 위쪽 부분에서 가로 방향으로 뚫린 두 개의 구멍과 각 각의 구멍으로부터 외부로 터진 절개부로 이루는 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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제8 항에 있어서, 상기 수직운동 제어부(104)는압전소자인 것을 특징으로 하는 4자유도 나노 차원 구동조작기
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