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초음파 세정장치
- 기술번호 : KST2015128370
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 반도체 제조공정이나 에프피디(ＦＰＤ: Flat Panel Display) 제조공정에서 사용되는 초음파 세정장치의 개량에 관한 것으로 초음파진동에 의한 과열을 방지함으로써 장치의 내구성이 향상되고, 미스트 배기시설의 설치를 생략할 수 있으며, 초음파출력(음압(音壓))을 피세정체의 표면 전체에 균일하게 조사할 수 있고, 장치의 부피를 경박단소화할 수 있으며, 전력이나 세정액의 사용량을 줄여 경제적으로 구동할 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다.본 발명에 의한 초음파 세정장치는, 세정액과 초음파의 조합사용에 의해 피세정체의 표면오염을 제거하는 초음파 세정장치에 있어서, 피세정체를 이동시키는 직선이송수단; 직선이송수단으로 운반하는 피세정체의 표면에 세정액을 분사·공급하여 상기 피세정체의 표면에 세정액 막을 형성하는 세정액 공급수단; 및 피세정체 표면의 세정액 막에 접촉되는 초음파집중부의 단면윤곽의 양측 곡선이 지수곡선 또는 현수선 형태로 된 몸체와, 상기 몸체 내에 복수 개가 일렬로 배치되되 인접면 사이에 형성되는 절연간격이 피세정체의 이동방향에 대해 사선(斜線)으로 형성되는 삼각형 모양 또는 " " 모양의 초음파 진동소자로 이루어진 초음파 세정용 진동체; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.초음파세정, 초음파집중, 균일음압, 냉각, 평판, 진동소자 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/304 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060134956 (2006.12.27) |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0784903-0000 (2007.12.05) |
| 공개번호/일자 | 10-2007-0069075 (2007.07.02) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20071211) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020050130947 | 2005.12.27
대한민국 | 1020050131487 | 2005.12.28 |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.12.27) |
| 심사청구항수 | 4 |