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양팔보 형상의 건식부착 구조물 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015128384
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 유연한 재질로 형성된 바닥몸체와 이 바닥몸체의 상면 일측에 형성된 제 1기둥과 바닥몸체의 상면 타측에 형성된 제 2기둥과 바닥몸체의 상면과 나란하게 이격되고, 일측이 제 1기둥에 고정되며, 타측이 제 2기둥에 고정된 상판과 이 상판의 상면에 형성된 다수의 미세헤어를 포함하는 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물이 제공된다.개시된 양팔보 형상의 건식 부착 구조물 및 그 제조 방법에 의하면 부착 표면의 다양한 거칠기에 대응하여 부착 압력을 현저하게 향상시킬 수 있게 되며, 제조가 용이하여 제조단가를 낮출 수 있으며, 대량생산이 가능하다는 장점이 있다.건식부착, 미세헤어, 반데르발스힘, 양팔보
Int. CL B32B 7/04 (2006.01)
CPC G03F 7/00(2013.01) G03F 7/00(2013.01) G03F 7/00(2013.01)
출원번호/일자 1020070012879 (2007.02.07)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0830672-0000 (2008.05.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.07)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영삼 대한민국 대전 서구
2 정대환 대한민국 대전 유성구
3 한혁섭 대한민국 충북 청주시 흥덕구
4 김완두 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0115812-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.08.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0051656-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0612935-98
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0015595-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0015596-19
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0249401-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수십㎚ 내지 수천㎛의 거칠기에 대응할 수 있는 유연한 재질로 형성된 바닥몸체;상기 바닥몸체의 상면 일측에 형성된 제 1기둥;상기 바닥몸체의 상면 타측에 형성된 제 2기둥;상기 바닥몸체의 상면과 나란하게 이격되고, 일측이 상기 제 1기둥에 고정되며, 타측이 상기 제 2기둥에 고정된 상판;상기 상판의 상면에 형성되고, 50㎚ 내지 5㎛의 직경 및 1㎛ 내지 1000㎛의 길이인 다수의 미세헤어를 포함하는 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
2 2
제 1항에 있어서, 상기 상판은,하나 이상인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
3 3
제 1항에 있어서, 상기 바닥몸체는,직육면체의 형태인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
4 4
제 1항에 있어서, 상기 바닥몸체, 제 1기둥, 제 2기둥, 상판 및 미세헤어 중 어느 하나 이상은,감광제인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
5 5
제 4항에 있어서, 상기 감광제는,SU-8인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서, 상기 제 1기둥 또는 상기 제 2기둥은,다수 개인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식 부착 구조물
9 9
웨이퍼를 마련하고 상기 웨이퍼의 상면에 이형제를 코팅하는 이형제코팅단계;상기 이형제의 상면에 바닥몸체를 형성하기 위하여 바닥몸체용감광제를 코팅하는 바닥몸체형성단계;상기 바닥몸체용감광제를 노광하고 경화하는 경화단계;상기 바닥몸체용감광제의 상면에 제 1포지티브피알(Positive PR)을 코팅하고 상기 포지티브피알에서 제 1기둥 및 제 2기둥이 형성될 부분을 노광하여 제거하는 기둥틀형성단계;상기 제 1포지티브피알의 상면에 상판용감광제를 코팅하여 상기 제 1포지티브피알에서 노광되어 제거된 부분에 상판용감광제가 채워지도록 하는 기둥형성단계;상기 기둥형성단계에서 코팅된 상판용감광제에서 상판이 형성될 부분을 노광하는 상판노광단계;상기 상판노광단계에서 노광되지 않은 상판용감광제를 제거하는 상판형성단계;상기 상판용감광제의 상면에 미세헤어용감광제를 코팅하는 미세헤어용감광제코팅단계;상기 미세헤어용감광제에서 미세헤어가 형성될 부분을 노광하는 미세헤어노광단계;상기 미세헤어용감광제에서 노광되지 않은 부분을 제거하여 미세헤어를 형성하는 미세헤어형성단계; 및상기 기둥틀형성단계에서 코팅된 제 1포지티브피알을 제거하는 포지티브피알제거단계를 포함하고,상기 미세헤어는 50㎚ 내지 5㎛의 직경 및 1㎛ 내지 1000㎛의 길이인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식부착 구조물의 제조 방법
10 10
웨이퍼를 마련하고 상기 웨이퍼의 상면에 이형제를 코팅하는 이형제코팅단계;상기 이형제의 상면에 바닥몸체를 형성하기 위하여 바닥몸체용감광제를 코팅하는 바닥몸체형성단계;상기 바닥몸체용감광제를 노광하고 경화하는 경화단계;상기 바닥몸체용감광제의 상면에 제 1포지티브피알을 코팅하고 상기 제 1포지티브피알에서 제 1기둥 및 제 2기둥이 형성될 부분을 노광하여 제거하는 기둥틀형성단계;상기 제 1포지티브피알의 상면에 금속층을 증착하는 금속층증착단계;상기 금속층의 상면에 제 2포지티브피알을 코팅하고 상기 제 2포지티브피알에서 제 1기둥 및 제 2기둥이 형성될 부분을 노광하여 제거하는 제 2포지티브피알 코팅단계;상기 제 2포지티브피알이 제거된 부분으로 노출된 금속층을 에칭하여 제거하는 금속층에칭단계;상기 제 2포지티브피알의 상면에 상판용감광제를 코팅하고, 코팅된 상기 상판용감광제에서 상판이 형성될 부분을 노광한 뒤 노광되지 않은 상판용감광제를 제거하는 상판형성단계;상기 상판용감광제의 상면에 미세헤어용감광제를 코팅하고, 코팅된 상기 미세헤어용감광제에서 미세헤어가 형성될 부분을 노광하는 미세헤어노광단계;상기 미세헤어용감광제에서 노광되지 않은 부분을 제거하여 미세헤어를 형성하는 미세헤어형성단계; 및상기 제 1포지티브피알 및 금속층을 제거하는 제 1포지티브피알 및 금속층제거단계를 포함하고,상기 미세헤어는 50㎚ 내지 5㎛의 직경 및 1㎛ 내지 1000㎛의 길이인 것을 특징으로 하는 양팔보 형상의 건식부착 구조물의 제조 방법
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