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상부에 시편이 마련되고 좌우(X축) 왕복이동 및 패턴가공 진행방향을 따라 전후(Y축) 왕복이동되는 X-Y축스테이지;상기 X-Y축스테이지 일측에 설치되고, 상기 시편 상면으로 상하(Z축) 왕복 이동되는 Z축 스테이지;상기 Z축스테이지에 고정되어, 상기 Z축스테이지의 이동에 따라 시편 상면을 상하 왕복이동하며 상기 시편에 접촉된 상태로 상하진동 이동되는 가공툴; 및상기 X-Y축스테이지의 좌우 왕복이동과 패턴가공 진행방향에 관해 설정된 좌우이동주기 신호와 좌우이동폭 신호와 패턴가공방향 신호, 상기 Z축스테이지의 상하 왕복이동에 관해 설정된 상하왕복주기 신호와 상하왕복깊이 신호, 및 상기 가공툴의 상하 진동이동에 관해 설정된 상하진동주기 신호와 상하진동깊이 신호를 이용하여 상기 X-Y축스테이지, 상기 Z축스테이지 및 상기 가공툴의 구동을 동시 제어하는 제어부를 포함하며,상기 X-Y축스테이지, Z축스테이지 및 상기 가공툴의 구동에 의해 상기 시편에 좌우방향으로 요동되는 좌우 파동패턴과, 상기 좌우 파동패턴의 패턴방향에 수직되어 상하방향으로 요동되고 상기 좌우 파동패턴에 비해 더욱 미세한 형상을 갖는 상하 파동패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제어부는,상기 가공툴의 상하진동 및 좌우진동이 동시 구동되기 위한 좌우진동주기 신호와 좌우진동폭 신호가 더 설정되며,상기 가공툴의 진동이동은,상기 제어부의 상하진동주기 신호, 좌우진동주기 신호, 상하진동깊이 신호, 좌우진동폭 신호를 입력받아 작동되는 PZT(Piezoelectric) 액추에이터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 좌우 왕복이동 방향에 대한 시편의 단면부 모양은,상기 제어부에 설정된 상기 좌우이동폭 신호 또는 상기 상하진동깊이 신호에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 시편은,금속 또는 비금속 재질인 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 장치
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X-Y축스테이지 상부에 시편을 마련하는 시편 마련 단계;X-Y축스테이지가 제어부에 설정된 좌우이동주기 신호와 좌우이동폭 신호에 따라 좌우(X축) 왕복이동되는 동시에, 패턴가공 진행방향에 관해 설정된 상기 제어부의 패턴가공방향 신호에 따라 전후(Y축) 왕복이동되는 X-Y축스테이지 구동 단계;상기 X-Y축스테이지의 구동이 이루어지는 동안, 상기 제어부에 설정된 상하왕복주기 신호와 상하왕복깊이 신호에 따라, 가공툴이 고정된 Z축스테이지가 상기 시편 상면을 상하(Z축) 왕복이동되는 동시에, 상기 제어부에 설정된 상하진동주기 신호와 상하진동깊이 신호에 따라 상기 가공툴이 상기 시편에 접촉한 상태로 상하진동 이동되는 가공툴 구동 단계; 및상기 X-Y축스테이지, Z축스테이지 및 상기 가공툴의 구동에 의해 상기 시편에 좌우방향으로 요동되는 좌우 파동패턴과, 상기 좌우 파동패턴의 패턴방향에 수직되어 상하방향으로 요동되고 상기 좌우 파동패턴에 비해 더욱 미세한 형상을 갖는 상하 파동패턴이 형성되는 미세 파동패턴 형성 단계를 포함하는 미세 파동패턴 가공 방법
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제 5항에 있어서, 상기 제어부는,상기 가공툴의 상하진동 및 좌우진동이 동시 구동되기 위한 좌우진동주기 신호와 좌우진동폭 신호가 더 설정되며,상기 가공툴의 진동이동은,상기 제어부의 상하진동주기 신호, 좌우진동주기 신호, 상하진동깊이 신호, 좌우진동폭 신호를 입력받아 작동되는 PZT(Piezoelectric) 액추에이터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 방법
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제 5항에 있어서, 상기 좌우 왕복이동 방향에 대한 시편의 단면부 모양은,상기 제어부에 설정된 상기 좌우이동폭 신호 또는 상기 상하진동깊이 신호에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 미세 파동패턴 가공 방법
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