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일측이 개방된 하우징(100)의 내부에 설치되고, 외부에 다면경이 형성된 회전자(600)와, 상기 회전자(600)의 중심을 관통하여 설치된 고정자축(910)을 갖는 고정자(900)와, 상기 하우징(100)의 양단에 설치되어 고정자축(910)의 양단을 고정 지지하고, 하우징(100)의 내부를 밀폐시키는 상, 하부커버(210, 220)와, 상기 상, 하부커버(210, 220)를 하우징(100)에 고정시키는 C링(211, 221), 상기 고정자(900)에 연결된 전선(300) 및 상기 고정자(900)의 외주면에 상기 회전자(600)를 회전되게 고정시키는 콘형 공기동압베어링(500)을 포함하여 구성된 모터조립체(10)를 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법에 있어서,
상기 하우징(100)의 양단에 설치된 C링(211, 221)을 분리하고 상부커버(210)를 하우징(100)으로부터 분리하고, 상기 고정자축(910)의 상부커버(210)측 단부로부터 연장된 전선(300)을 분리하는 커버 분리단계(S1)와 ;
하우징(100)으로부터 모터조립체(10)를 분리하고, 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측에 고정된 하부커버(220)를 고정자축(910)으로부터 분리하는 모터조립체 분리단계(S2)와 ;
모터조립체(10)의 고정자축(910)으로부터 콘형내륜(520)을 분리하고, 회전자(600)로부터 콘형외륜(510)을 분리하는 콘형 공기동압베어링 분리단계(S3)와 ;
다면경을 갖는 회전자(600)의 양단에 각각 정비된 콘형외륜(510)을 고정시키고, 고정자축(910)에는 정비된 콘형내륜(520)을 억지끼움하여 고정시키는 콘형 공기동압베어링 교체단계(S4)와 ;
조립된 모터조립체(10)를 시험용 챔버의 내부에서 시험하는 동작시험단계(S5)와 ;
상기 모터조립체(10)의 고정자축(910)의 일측 단부에 하부커버(220)를 조립한 후 하우징(100)의 내부에 모터조립체(10)를 삽입하고 전선(300)을 연결하며, 상기 하부커버(220)의 바깥쪽에 C링(221)을 끼워 고정시키는 모터조립체 조립단계(S6)와 ;
진공상태에서 20시간내지 30시간동안 방치하여 모터조립체(10)로부터 이물질을 분리하는 베이크아웃(bake-out)단계(S7)와 ;
하우징(100)의 일측에 상부커버(210)를 대면되게 한 후 C링(221)을 끼워 고정시키는 상부커버조립단계(S8)와 ;
전선(300)에 전원을 공급하여 조립된 모터조립체(10)를 시험하는 최종 시험단계(S9)로 이루어짐을 특징으로 하는 콘형 공기동압베어링을 구비한 로터리 미러 스캐닝 모터의 정비 방법
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