| 1 |
1
비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부;
상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 분사구가 형성된 테이블;
상기 테이블에 연결된 지지축;
상기 지지축과 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터;
상기 기체 분사구로 기체를 공급하는 펌프;
를 포함하고,
상기 테이블에는 상기 기판을 상기 테이블에서 이격시키는 스페이서가 설치된 비평면 코팅 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,
상기 테이블에는 스페이서가 끼워지는 고정 홈이 형성된 비평면 코팅 장치
|
| 4 |
4
비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부;
상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 분사구가 형성된 테이블;
상기 테이블에 연결된 지지축;
상기 지지축과 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터;
상기 기체 분사구로 기체를 공급하는 펌프;
를 포함하고,
상기 기체 분사구의 내측에는 조절 밸브가 설치된 비평면 코팅 장치
|
| 5 |
5
제1 항에 있어서,
상기 레지스트 공급부는 상기 테이블의 상부에 설치되고,
상기 기판을 회전시켜서 상기 테이블에 장착하는 이송부를 구비하는 비평면 코팅 장치
|
| 6 |
6
제5 항에 있어서,
상기 이송부는 지면에 대하여 세워져 설치된 가이드 축과, 상기 가이드 축을 따라 이동하는 직선 이송부재와, 상기 직선 이송부재에 연결 설치된 회동부재를 포함하는 비평면 코팅 장치
|
| 7 |
7
비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부;
상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 분사구가 형성된 테이블;
상기 테이블에 연결된 지지축;
상기 지지축과 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터;
상기 기체 분사구로 기체를 공급하는 펌프;
를 포함하고,
상기 기체 분사구는 상기 기판에 형성된 비평면부와 대응되는 부분에 설치되어 상기 비평면부로 기체를 분사하는 비평면 코팅 장치
|
| 8 |
8
제1 항에 있어서,
상기 지지축에는 상기 기체 분사구와 상기 펌프를 연결하는 기체 유동로가 형성된 비평면 코팅 장치
|
| 9 |
9
제1 항에 있어서,
상기 레지스트 공급부는 테이블에 설치되어 기판으로 레지스트를 분사하는 비평면 코팅 장치
|
| 10 |
10
제9 항에 있어서,
상기 레지스트 공급부로 레지스트를 공급하는 레지스트 공급 펌프와 상기 레지스트 공급 펌프와 상기 레지스트 공급부를 연결하는 레지스트 유동로를 포함하는 비평면 코팅 장치
|
| 11 |
11
제1 항에 있어서,
상기 지지축에는 상기 기체 분사구와 상기 펌프를 연결하는 기체 유동로가 형성되고
상기 레지스트 유동로는 상기 기체 유동로를 관통하는 비평면 코팅 장치
|
| 12 |
12
비평면 형상의 기판에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급부;
상기 기판의 아래에 설치되고, 레지스트가 코팅되는 기판의 면과 대향하도록 설치되며 기체 흡입구가 형성된 테이블;
상기 테이블에 연결된 지지축;
상기 지지축과 연결되어 상기 지지축에 회전력을 인가하는 구동 모터;
상기 기체 흡입구와 연통되며 기체를 흡입할 수 있도록 흡입력을 제공하는 진공펌프;
를 포함하고,
상기 기체 흡입구는 상기 기판에 형성된 비평면부와 대응되는 부분에 설치되어 상기 비평면부와 상기 기판 사이의 공간에 위치하는 기체를 흡입하는 비평면 코팅 장치
|
| 13 |
13
비평면 기판에 레지스트를 공급하는 단계;
레지스트가 흡착된 기판의 면이 테이블을 향하도록 기판을 테이블에 장착하는 단계;
상기 테이블을 회전시키는 단계; 및
상기 테이블과 함께 회전하는 기판에 기체를 분사하여 비평면부에 위치하는 레지스트를 분산시키는 단계;
를 포함하는 비평면 기판의 코팅 방법
|
| 14 |
14
제 13항에 있어서,
상기 기판을 테이블에 장착하는 단계에서, 기판과 테이블 사이에 스페이서를 설치하여 기판을 테이블에서 이격시킨 상태로 장착하는 비평면 기판의 코팅 방법
|
| 15 |
15
제 13항에 있어서,
상기 비평면 기판에 레지스트를 공급하는 하는 단계는,
코팅할 면이 상부를 향하도록 기판을 테이블에 장착한 상태에서 레지스트를 공급하여 초벌코팅하는 단계를 포함하는 비평면 기판의 코팅 방법
|
| 16 |
16
제 15항에 있어서,
비평면 기판에 레지스트를 공급한 후, 비평면 기판을 테이블에서 분리하여 뒤집는 단계를 포함하는 비평면 기판의 코팅 방법
|
