| 1 |
1
투과전자현미경에 장착된 고니오미터;
상기 고니오미터를 이용하여 결정축과 시료의 기울임축과의 관계를 선형대수적으로 해석하여 상기 시료의 결정립계를 경계로 하는 이웃하는 두 결정립 사이의 탈각을 규명하는 제1 측정부; 및
상기 제1 측정부에서 측정된 상기 결정립계에 대한 상기 결정축과 상기 기울임축과의 관계를 이용하여 상기 시료의 기울임축에 의해 시료를 기울기 전과 후의 회전으로 산출되는 회전행렬에 의해 상기 시료의 결정립계면에 수직한 법선벡터를 산출하여 결정립계의 특성을 규명하는 제2 측정부를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계의 법선벡터 측정장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 결정축과 시료의 기울임축과의 관계는 아래의 식에 의해 표현되는 상기 투과전자현미경에 장착된 X 기울임축 및 Y 기울임축에 각각 수직하는 축인 Tx축과 Ty축으로 이루어진 좌표에 측정된 결정축(H1, H2, H3)을 배치하여, 예측하고자 하는 결정축 H4와 상기 측정된 결정축(H1, H2, H3)과의 각각의 사이각(θ1, θ2, θ3)인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계의 법선벡터 측정장치
|
| 3 |
3
시료의 결정축(H1, H2, H3)을 고니오미터를 이용하여 측정하는 단계;
투과전자현미경에 장착된 고니오미터에서 전자빔에 평행할 때 X축 기울임에 해당하는 Tx값과 Y축 기울임에 해당하는 Ty값인 (Tx, Ty)각으로 표현되는 기울임축에 의해 측정된 결정축(H1, H2, H3)에 대한 사이각과 결정학적으로 계산된 결정축(H1, H2, H3) 사이각을 비교하여 그 차이를 최소화하는 (Tx, Ty)각을 선택하는 단계;
상기 기울임축과 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계;
상기 기울임축에 평행한 기준좌표계를 필름 또는 화상에 설정하는 단계;
상기 시료를 기울이기 전의 명시야상을 기록하는 단계;
상기 시료를 기울인 후의 명시야상을 기록하는 단계;
상기 시료를 기울이기 전과 후의 회전행렬을 구하는 단계; 및
상기 회전행렬을 이용하여 결정립계의 법선벡터를 산출하는 단계를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 차이를 최소화하는 (Tx, Ty)각을 선택하는 단계는
상기 (Tx, Ty)각으로부터 상기 측정된 결정축(H1, H2, H3) 사이각이 상기 Tx 축을 따른 기울임각(α), 상기 Ty축을 따른 기울임각(β)만큼 기울어져 있을 경우, 상기 전자빔의 중심으로부터 기울어진 각(γ)을 구하는 단계; 및
상기 측정된 결정축(H1, H2, H3)의 결정지수를 결정하고 입방정계의 사이각을 결정학적으로 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 5 |
5
제3항에 있어서, 상기 기울임축과 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
상기 결정축(H1, H2, H3) 사이를 각도를 측정하여 결정축과 상기 기울임축과의 관계를 수립하는 단계; 및
상기 결정축(H1, H2, H3)으로부터 예측하고자 하는 결정축(H4)을 예측하는 단계를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 6 |
6
제3항에 있어서, 상기 기울임축과 상기 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
X축, Y축으로 소정의 동일한 θ각만큼 각각 회전시켰을 때의 결정방향지수으로부터 Z축에 평행한 결정방향지수를 감산하여 구한 두 개의 결정방향지수와 Z축에 평행한 하나의 결정방향지수를 산출하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 7 |
7
제3항에 있어서, 상기 기울임축과 상기 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
아래의 식에 의해 기하학적으로 수립하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 8 |
8
제3항에 있어서, 상기 회전행렬을 구하는 단계는,
상기 시료를 기울이기 전의 상태인 (Tx=0+θ, Ty=0), (Tx=0, Ty=0+θ)일 때의 결정축과 시료의 기울임축에 대한 일치행렬을 구하는 단계;
상기 시료를 기울인 후의 상태인 (Tx=Txa+θ, Ty=Tya), (Tx=Txa, Ty=Tya+θ) 일 때의 결정축과 시료의 기울임축에 대한 일치행렬을 구하는 단계; 및
상기 시료를 기울이기 전과 후의 일치행렬에 의한 회전행렬을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 θ는 0보다 크고 10보다 작은 각인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 상기 법선벡터를 산출하는 단계는
상기 회전행렬을 이용하여 시료를 기울이기 전과 후의 결정립계를 따라 그려진 직선의 시점과 종점에 대한 좌표값을 구하는 단계;
상기 좌표값을 정규화하는 단계;
상기 정규화된 좌표값과 상기 시료를 기울인 후의 결정축과 시료의 기울임축 사이의 일치행렬에 의하여 상기 명시야상의 결정립계에 따라 그려진 직선의 결정방향을 구하는 단계; 및
상기 직선의 결정방향에 의해 상기 결정립계면에 수직하는 법선벡터를 구하는 단계를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 결정립계 법선벡터 측정방법
|
