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미세 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015128500
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 미세 패턴 형성 방법은 미세 패턴을 보다 용이하게 형성할 수 있도록, 미세 패턴이 형성된 탄성중합체 판에 금속 박판을 부착하는 단계와, 상기 탄성중합체 판을 원통형 드럼에 부착하는 탄성중합체 스탬프 롤 형성 단계와 상기 미세 패턴에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 단계, 및 상기 탄성중합체 스탬프 롤을 기판과 맞닿도록 회전시켜 기판에 미세 패턴을 전사하는 미세 패턴 형성 단계를 포함할 수 있다. 미세 패턴, 유연성 기판, 탄성중합체, 도전성 잉크, 유기박막구동소자
Int. CL H01L 21/28 (2006.01)
CPC H01L 21/288(2013.01) H01L 21/288(2013.01) H01L 21/288(2013.01)
출원번호/일자 1020080053774 (2008.06.09)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1024376-0000 (2011.03.16)
공개번호/일자 10-2009-0127680 (2009.12.14) 문서열기
공고번호/일자 (20110323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.09)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전 유성구
2 유종수 대한민국 대전 유성구
3 이택민 대한민국 대전 유성구
4 김동수 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0410143-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.12.04 수리 (Accepted) 9-1-2009-0065483-52
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0129574-05
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0345425-75
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0345427-66
7 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2010.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2010-0018022-12
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0467888-64
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0840121-23
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0840119-31
11 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0125610-03
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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미세 패턴이 형성된 평판을 준비하는 단계; 상기 미세 패턴에 도전성 잉크를 주입하는 단계; 상기 평판에 탄성중합체 롤러를 밀착하여 회전시키면서 탄성중합체 롤러에 도전성 잉크를 전사하는 단계; 및 상기 탄성중합체 롤러의 회전 과정에서 상기 탄성중합체 롤러에 밀착되어 회전하며 표면에 유연성 기판(flexible substrate)이 부착된 서브 롤러의 유연성 기판에 도전성 잉크를 전사하는 단계; 를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 탄성중합체 롤러는 고무로 이루어진 원통형 드럼과 상기 드럼의 상면에 부착된 금속 박판과 상기 금속 박판 위에 부착된 탄성중합체층을 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
6 6
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 미세 패턴에 도전성 잉크를 주입하는 단계에 있어서, 평판에 도전성 잉크를 공급하는 단계; 닥터 블레이트를 이용하여 기판의 상면을 긁으면서 도전성 잉크를 상기 미세 패턴으로 주입하는 미세 패턴의 형성 방법
7 7
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 유연성 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와 플라즈마 처리하는 단계를 거친 후에 상기 유연성 기판 상에 미세 패턴을 형성하며, 상기 미세 패턴은 제2 전극인 미세 패턴의 형성 방법
8 8
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 유연성 기판은 PEN(polyethylene naphtalate), PEN(polyethylene naphtalate), PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나로 이루어진 미세 패턴의 형성 방법
9 9
미세 패턴이 형성된 탄성중합체 스탬프 롤을 준비하는 단계; 도전성 잉크층이 형성된 평판과 상기 탄성중합체 스탬프 롤을 상기 도전성 잉크층과 맞닿아 회전시키면서 상기 미세 패턴에 도전성 잉크를 공급하는 단계; 및 상기 탄성중합체 스탬프 롤의 회전 과정에서 탄성중합체 스탬프 롤의 미세 패턴에 공급된 도전성 잉크를 상기 탄성중합체 스탬프 롤과 맞닿아 회전하며 표면에 유연성 기판이 부착된 서브 롤러의 상기 유연성 기판으로 전사하는 단계; 를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 탄성중합체 스탬프 롤은 고무로 이루어진 원통형 드럼과 상기 드럼의 상면에 부착된 금속 박판과 상기 금속 박판 위에 부착된 탄성중합체층을 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
11 11
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 평판에는 홈이 형성되고 상기 홈에 도전성 잉크층이 형성된 미세 패턴의 형성 방법
12 12
제9항 또는 제10항에 있어서, 미세 패턴에 도전성 잉크를 공급하는 단계에 있어서, 상기 탄성중합체 스탬프 롤의 표면에 닥터 블레이트를 설치하여 상기 탄성중합체 스탬프 롤의 표면을 긁으면서 미세 패턴 이외의 영역에 도포된 도전성 잉크를 제거하는 미세 패턴의 형성 방법
13 13
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 유연성 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와 플라즈마 처리하는 단계를 거친 후에 상기 유연성 기판 상에 미세 패턴을 형성하며, 상기 미세 패턴은 제2 전극인 미세 패턴의 형성 방법
14 14
제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 유연성 기판은 PEN(polyethylene naphtalate), PET (polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나로 이루어진 미세 패턴의 형성 방법
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