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세라믹분말에 부피비 5 내지 60%의 금속기공형성제를 혼합하는 분말혼합단계와,
상기 혼합된 분말을 모재 일측에 상온 진공 분말 분사법 (Room Temperature Powder Spray in Vacuum)으로 증착하여 복합코팅막을 형성하는 복합코팅막형성단계와,
상기 복합코팅막에 포함된 금속기공형성제를 제거하여 미세기공을 형성하는 미세기공형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 분말혼합단계는,
세라믹분말과 금속기공형성제가 혼합된 혼합분말이 수용된 혼합용기 내부에 캐리어가스를 공급하여 상기 혼합분말을 분산하는 과정이 포함됨을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 분말혼합단계는,
세라믹분말과 금속기공형성제 중 어느 하나가 선택적으로 수용된 제1보관용기 및 제2보관용기에 캐리어가스를 공급하고, 상기 캐리어가스에 의해 비산된 세라믹분말과 금속기공형성제를 제1보관용기 및 제2보관용기 외부에서 혼합하는 과정임을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조 방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 분말혼합단계에서,
상기 금속기공형성제는, 구리(Cu), 니켈(Ni), 은(Ag), 철(Fe) 중 하나 이상을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 미세기공형성단계는,
황산, 염산, 질산 중 어느 하나에 세라믹막을 담궈 금속기공형성제를 용출하는 과정임을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 분말혼합단계에서,
상기 제1보관용기와 제2보관용기 내부에 캐리어가스의 유량은 각각 제어 가능한 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹막의 제조 방법
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