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투과전자현미경에 장착된 고니오미터; 및
상기 고니오미터를 이용하여 결정축과 시료의 기울임축과의 관계를 선형대수적으로 해석하여 상기 시료의 결정립계 특성을 규명하는 측정부를 포함하고,
상기 결정축과 시료의 기울임축과의 관계는 상기 투과전자현미경에 장착된 X 기울임축 및 Y 기울임축에 각각 수직하는 축인 Tx축과 Ty축으로 이루어진 좌표에 측정된 결정축(H1, H2, H3)을 배치하여, 예측하고자 하는 결정축 H4와 상기 측정된 결정축(H1, H2, H3)과의 각각의 사이각(θ1, θ2, θ3)인 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정장치
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결정축(H1, H2, H3)을 고니오미터를 이용하여 측정하는 단계;
투과전자현미경에 장착된 고니오미터의 (Tx, Ty)각으로 측정된 결정축(H1, H2, H3)에 대한 사이각과 결정학적으로 계산된 결정축(H1, H2, H3) 사이각을 비교하여 그 차이를 최소화하는 (Tx, Ty)각을 선택하는 단계;
기울임축과 결정축 사이의 관계를 하기의 식(a), 식(b) 및 식(c)에 의해 수립하는 단계;
두 결정 사이의 탈각행렬을 구하는 단계; 및
상기 탈각행렬을 이용하여 결정립계의 특성을 규명하는 단계를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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제3항에 있어서, 상기 차이를 최소화하는 (Tx, Ty)각을 선택하는 단계는
상기 (Tx, Ty)각으로부터 상기 측정된 결정축(H1, H2, H3) 사이각을 Tx 축을 따른 기울임각(), Ty축을 따른 기울임각()만큼 기울어져 있을 경우, 빔 중심으로부터 기울어진 각()을 구하는 단계; 및
상기 측정된 결정축(H1, H2, H3)의 결정지수를 결정하고 입방정계의 사이각을 결정학적으로 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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제3항에 있어서, 상기 기울임축과 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
상기 결정축(H1, H2, H3) 사이를 각도를 측정하여 결정축과 상기 기울임축과의 관계를 수립하는 단계; 및
상기 결정축(H1, H2, H3)으로부터 임의의 결정축(H4)을 예측하는 단계를 포함하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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제3항에 있어서, 상기 기울임축과 상기 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
(Tx=90, Ty=0) 결정축을 상기 기울임축의 [100]축, (Tx=0, Ty=90) 결정축을 상기 기울임축의 [010]축, 및 (Tx=0, Ty=0) 결정축을 상기 기울임축의 [001]축에 평행하게 배열한 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 측정방법
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제3항에 있어서, 상기 기울임축과 상기 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
X축, Y축으로 소정의 동일한 각 θ만큼 각각 회전시켰을 때의 두 개의 결정축과 Z축에 평행한 하나의 결정축을 산출하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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제3항에 있어서, 상기 기울임축과 결정축 사이의 관계를 수립하는 단계는,
X축, Y축으로 소정의 동일한 θ각만큼 각각 회전시켰을 때의 결정축으로부터 Z축에 평행한 결정축을 감산하여 구한 두 개의 결정축과 Z축에 평행한 하나의 결정축을 산출하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립의 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 θ는 0보다 크고 10보다 작은 각인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경의 고니오미터를 이용한 이웃하는 결정립 방위관계 및 결정립계 특성 측정방법
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