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마이크로 구동을 위한 선형 스테이지의 운동을 안내하는 장변위용 선형안내기구에 있어서,
가해진 소정의 힘에 의해 이동하는 이동 플랫폼(10);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 유동가능하게 연결되는 두 개의 제1 보조 플랫폼(20);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 연결되되 상기 제1 보조 플랫폼(20)과 유동가능하게 연결되는 두 개의 제2 보조 플랫폼(30);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 연결되되 상기 제2 보조 플랫폼(30)과 유동가능하게 연결되는 두 개의 제3 보조 플랫폼(40); 및
다수 개의 탄성힌지(55)에 의해 상기 플랫폼들(10, 20, 30, 40)을 서로 연결해주는 다수 개의 연결다리(50);를 포함하는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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제1항에 있어서, 상기 제1 보조 플랫폼(20)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 각각 2개의 연결다리(50)의 양단에 각각 결합된 탄성힌지(55)에 의해 결합되고,
상기 제2 보조 플랫폼(30)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에 있는 상기 제1 보조 플랫폼(20)에 각각 2개의 연결다리(50)의 양단에 각각 결합된 탄성힌지(55)에 의해 결합되고,
상기 제3 보조 플랫폼(40)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에 있는 상기 제2 보조 플랫폼(30)에 각각 2개의 연결다리(50)의 양단에 각각 결합된 탄성힌지(55)에 의해 결합되며,
상기 제3 보조 플랫폼(40)에는 일측이 자유단(45)을 갖는 두 개의 연결다리(50)가 결합되는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 탄성힌지(55)의 위치에 회전 조인트의 베어링이 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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4
마이크로 구동을 위한 선형 스테이지의 운동을 안내하는 장변위용 선형안내기구에 있어서,
가해진 소정의 힘에 의해 이동하는 이동 플랫폼(10);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 유동가능하게 연결되는 두 개의 제1 보조 플랫폼(20);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 연결되되 상기 제1 보조 플랫폼(20)과 유동가능하게 연결되는 두 개의 제2 보조 플랫폼(30);
상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 연결되되 상기 제2 보조 플랫폼(30)과 유동가능하게 연결되는 두 개의 제3 보조 플랫폼(40); 및
상기 플랫폼들(10, 20, 30, 40)을 서로 연결해주는 다수 개의 판스프링(60);을 포함하는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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5
제4항에 있어서, 상기 제1 보조 플랫폼(20)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에서 각각 2개의 판스프링(60)에 의해 결합되고,
상기 제2 보조 플랫폼(30)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에 있는 상기 제1 보조 플랫폼(20)에 각각 2개의 판스프링(60)에 의해 결합되고,
상기 제3 보조 플랫폼(40)은 상기 이동 플랫폼(10)의 양측에 있는 상기 제2 보조 플랫폼(30)에 각각 2개의 판스프링(60)에 의해 결합되며,
상기 제3 보조 플랫폼(40)에는 일측이 자유단을 갖는 두 개의 판스프링(60)이 결합되는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 이동 플랫폼(10)에 소정의 힘(F)을 가하여 2δ만큼 변위가 발생할 때, 제1 보조 플랫폼(20)은 3δ/2만큼 변위되고, 제2 보조 플랫폼(30)은 δ만큼 변위되며, 제3 보조 플랫폼(40)은 δ/2만큼 변위되는 것을 특징으로 하는 장변위용 선형안내기구
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