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비도전성을 가지는 필름의 표면에 미세 요철을 형성하는 표면 처리 단계;
상기 필름의 표면에 소수성 물질을 코팅하여 소수층을 형성하는 코팅 단계;
상기 소수층과 상기 필름의 일부 두께를 레이저로 제거하여, 상기 소수층에 비하여 상대적으로 친수성을 가지는 홈을 패터닝 하는 레이저 패터닝 단계;
상기 필름을 도전성 물질 수용액에 딥핑하여 상기 홈에 상기 도전성 물질 수용액을 충전하는 딥핑 단계; 및
상기 필름을 꺼내어 건조 및 소성하여 상기 도전성 물질에 의한 제1 도전층을 상기 홈에 형성하는 건조/소성 단계를 포함하는 도전성 패턴 형성 방법
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제1 항에 있어서,
상기 표면 처리 단계는,
상기 필름으로 폴리이미드 필름을 사용하고,
상기 폴리이미드 필름의 표면을 소수성으로 처리하여 1 내지 10㎛의 미세 요철을 형성하며,
상기 코팅 단계는,
상기 소수성 물질로 CF2 및 CF3 중 하나를 사용하는 도전성 패턴 형성 방법
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3
제1 항에 있어서,
상기 소성/건조 단계는,
상기 제1 도전층 형성 후, 상기 소수층 중 일부를 제거하는 단계를 더 포함하는 도전성 패턴 형성 방법
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제1 항에 있어서,
상기 딥핑 단계 및 상기 건조/소성 단계는,
적어도 2회 이상 반복적으로 수행하여, 상기 제1 도전층 상에 적어도 하나 이상의 제2 도전층을 더 형성하는 도전성 패턴 형성 방법
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5
제1 항에 있어서,
일측에 구비되는 공급롤에서 상기 필름을 공급하고, 다른 일측에 구비되는 회수롤에서 상기 제1 도전층이 형성된 상기 필름을 회수하면서,
상기 공급롤과 상기 회수롤 사이에서,
상기 표면 처리 단계, 상기 코팅 단계, 상기 레이저 패터닝 단계, 상기 딥핑 단계 및 상기 건조/소성 단계를 순차적으로 수행하는 도전성 패턴 형성 방법
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6
제1 항에 있어서,
상기 제1 도전층 형성 후, 무전해 도금으로 상기 제1 도전층에 제2 도전층을 형성하는 무전해 도금 단계를 더 포함하는 도전성 패턴 형성 방법
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7
제6 항에 있어서,
상기 건조/소성 단계 및 상기 무전해 도금 단계는
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8
제7 항에 있어서,
일측에 구비되는 공급롤에서 상기 필름을 공급하고, 다른 일측에 구비되는 회수롤에서 상기 제1 도전층이 형성된 상기 필름을 회수하면서,
상기 공급롤과 상기 회수롤 사이에서,
상기 표면 처리 단계, 상기 코팅 단계, 상기 레이저 패터닝 단계, 상기 딥핑 단계, 상기 건조/소성 단계 및 무전해 도금 단계를 순차적으로 수행하는 도전성 패턴 형성 방법
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9
표면에 미세 요철을 형성하고, 상기 미세 요철보다 크게 패터닝된 홈을 가지는 비도전성 필름; 및
상기 홈에 채워지는 도전성 물질로 형성되는 도전층을 포함하는 도전성 패턴
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10
제9 항에 있어서,
상기 도전층은,
상기 홈에 채워지는 충전부와
상기 충전부에서 연장되어 상기 홈 밖으로 돌출되는 돌출부를 포함하는 도전성 패턴
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