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세라믹 분말과 유기물 기공 형성체 분말을 분말혼합하는 단계(단계 1);
상기 단계 1의 혼합분말을 상온진공분말분사법으로 모재 일측에 증착하는 단계(단계 2); 및
상기 증착막에서 열처리공정으로 유기물 기공 형성체를 제거하여 다공성 세라믹 후막을 제조하는 단계(단계 3)를 포함하는 저온 열처리공정을 이용한 다공성 세라믹 후막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 세라믹 분말은 (La,Sr)MnO3, (La,Sr)CoO3, (La,Sr)FeO3, LSM-YSZ, NiO-YSZ, TiO2 또는 Al2O3 인 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 유기물 기공 형성체는 폴리비닐리덴플루오라이드(PVDF), 폴리이미드(PI) 또는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)인 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 분말혼합은 세라믹 분말에 대하여 유기물 기공 형성체의 함량이 5 - 50 부피%인 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 3의 열처리공정은 300 - 500 ℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막의 제조방법
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5 - 50 부피%의 나노 기공을 갖는 제1항의 제조방법에 의해 제조되는 다공성 세라믹 후막
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제6항에 있어서, 상기 다공성 세라믹 후막은 20 - 200 ㎚ 크기의 기공을 갖는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막
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제6항에 있어서, 상기 다공성 세라믹 후막은 고체 산화물 연료전지의 전극소재로 사용되는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 후막
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