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유연성기판을 이송하는 이송유닛과,
상기 유연성기판 표면의 오염물을 제거하는 정화유닛과,
상기 유연성기판 표면에 슬롯다이코팅법(slot-die-coating)으로 코팅막을 형성하는 코팅유닛과,
상기 코팅막이 형성된 유연성기판을 가열하는 가열유닛과,
상기 코팅막에 포함된 휘발성용매를 흡입하여 배출하는 배기유닛을 포함하여 구성되며,
상기 코팅막은 발광소자의 구성요소인 발광층, 전극, 전하수송층, 완충층 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 정화유닛은,
상기 유연성 기판 일면에 자외선 또는 적외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 2 항에 있어서, 상기 가열유닛은,
상기 유연성기판을 내부로 수용하는 가열로와,
선택적으로 발열하여 상기 가열로 내부로 유입된 유연성기판을 가열하는 다수의 가열체를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 3 항에 있어서, 상기 가열체는 등간격으로 평행하게 이격됨을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 3 항에 있어서, 상기 배기유닛은,
흡입력을 발생하여 공기 유동을 강제하는 펌프와,
상기 펌프와 연통되어 가열로 내부의 휘발성용매를 흡입 및 배출하는 배기덕트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 5 항에 있어서, 상기 배기덕트 일측에는,
상기 휘발성용매가 배기덕트 내부로 흡입되도록 안내하는 흡입구멍이 다수 형성됨을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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제 6 항에 있어서, 상기 흡입구멍은 유연성기판의 이송방향과 동일한 방향으로 갈수록 개구 면적이 감소하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치
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릴투릴(reel-to-reel)방식으로 유연성기판을 이송하는 기판이송단계와,
상기 유연성기판 표면의 오염물을 제거하는 표면정화단계와,
상기 유연성기판 표면에 슬롯다이코팅법(slot-die-coating)으로 코팅막을 형성하는 코팅단계와,
상기 코팅막이 형성된 유연성기판을 가열유닛으로 가열하는 가열단계와,
상기 코팅막에 포함된 휘발성용매를 배기유닛을 통해 흡입하여 배출하는 용매배기단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 표면정화단계는,
상기 유연성기판 일면에 자외선 또는 적외선을 조사하는 과정임을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 가열단계는,
상기 코팅막이 형성되지 않은 유연성기판의 표면을 가열하는 과정임을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 용매배기단계는,
펌프를 작동하여 배기덕트를 통해 가열로 내부의 휘발성 용매를 가열로 외부로 배출하는 과정임을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 용매배기단계에서,
상기 배기덕트는 일방향으로 갈수록 흡입력이 감소하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 용매배기단계에서,
상기 배기덕트의 흡입력은 유연성기판이 이송하는 방향으로 갈수록 흡입력이 감소하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 코팅단계는,
발광소자의 구성요소인 발광층, 전극, 전하수송층, 완충층 중 하나 이상을 유연성기판 외면에 형성하는 과정임을 특징으로 하는 코팅막 제조장치를 이용한 코팅막 제조방법
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