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시편 상면을 에칭하여 상기 시편에 복수개의 제1미세패턴을 형성시키는 에칭수단;
상기 에칭수단에 의해 복수개의 제1미세패턴이 형성된 상기 시편이 상부에 마련되고, 이동가능한 스테이지;
상기 스테이지 상방에 위치하고, 상기 시편의 복수개의 제1미세패턴을 아우르는 패턴영역에 대응되는 너비를 가지며 시편면을 상하 가압 왕복이동하는 다이아몬드 압자툴;
상기 스테이지의 이동속도에 관해 설정된 이동속도신호 및 상기 다이아몬드 압자툴의 상하 가압왕복이동에 관해 설정된 가압주기 신호와 가압깊이 신호를 이용하여 상기 스테이지 및 상기 다이아몬드 압자툴의 구동을 동시 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 다이아몬드 압자툴의 가압에 따라 상기 시편의 패턴영역 상면이 소성 변형되어, 상기 다이아몬드 압자툴의 형상과 대응된 형상을 가지며 상기 복수개의 제1미세패턴을 패턴면에 포함한 제2미세패턴이 형성되는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 장치
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제 1항에 있어서, 상기 형성되는 제2미세패턴의 길이는,
상기 스테이지의 이동속도신호와 상기 다이아몬드 압자툴의 가압주기 신호에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 장치
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제 1항에 있어서, 상기 다이아몬드 가공툴은,
상기 제어부의 가압주기 신호 및 가압깊이 신호를 입력받아 작동되는 PZT(Piezoelectric) 액추에이터에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 장치
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시편면을 에칭하여 복수개의 제1미세패턴을 형성하는 제1미세패턴 형성 단계;
복수개의 제1미세패턴을 아우르는 패턴영역에 대응되는 너비의 다이아몬드 압자툴을 상기 시편면에 가압하는 다이아몬드 압자툴 가압 단계; 및
상기 다이아몬드 압자툴의 가압에 따라 상기 패턴영역 상면이 소성 변형되어, 상기 다이아몬드 압자툴의 형상과 대응된 형상을 가지며 상기 복수개의 제1미세패턴을 패턴면에 포함한 제2미세패턴이 형성되는 하이브리드 미세 패턴 형성 단계를 포함하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 방법
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제 4항에 있어서,
상기 제1미세패턴이 형성된 시편을 스테이지 상부에 마련하는 스테이지의 시편 설치 단계; 및
제어부에 설정된 이동속도신호에 따라 상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동 단계를 더 포함하며,
상기 다이아몬드 압자툴 가압 단계는,
상기 스테이지 구동이 이루어지는 동안, 상기 제어부에 설정된 가압주기 신호 및 가압깊이 신호에 따라 상기 시편 상부에 위치한 다이아몬드 압자툴을 상기 패턴영역 상면에 가압 왕복이동시키는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 방법
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제 5항에 있어서, 상기 제어부에 설정된 상기 가압주기 신호는,
시간에 따라 일정 주기를 갖는 일정주기 신호 또는 시간에 따라 가변 주기를 갖는 가변주기 신호인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 방법
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제 5항에 있어서, 상기 형성되는 제2미세패턴의 길이는,
상기 스테이지의 이동속도신호와 상기 다이아몬드 압자툴의 가압주기 신호에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 압자를 이용한 하이브리드 미세 패턴 성형 방법
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