| 요약 |
본 발명은 3차원 검사 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 X선을 이용하여 반도체 등과 같은 미세 가공 부품의 검사를 수행할 수 있도록 하되, 거의 모든 방향에 해당하는 다양한 방향에서의 검사가 자유롭도록 함으로써, 특히 대상물에 따라 최적의 검사 조건 등을 찾는 것이 더욱 용이하도록 해 주는, X선을 이용한 검사 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 X선을 이용한 검사 장치는, 검사 대상물에 X선을 조사하여 상기 검사 대상물을 투과한 X선을 감지하여 상기 검사 대상물의 외관 및 내부 구조를 측정 및 검사하는 3차원 검사 장치(100)에 있어서, 지면에 대해 수평한 임의의 일방향을 제1축, 지면에 대해 수직 방향을 제2축, 제1축 및 제2축에 수직한 방향을 제3축이라 할 때, 함체 형태로 형성되는 상부 프레임(111), 함체 형태로 형성되는 하부 프레임(112), 상기 상부 프레임(111) 및 상기 하부 프레임(112) 사이에 배치되는 플레이트(113)를 구비하는 프레임(110); 상기 플레이트(113)의 중앙 부분에 구비되며, 상기 검사 대상물이 놓여지는 스테이지(121)를 구비하는 거치부(120); 상기 하부 프레임(112) 내에 구비되며, 상기 스테이지(121)에 놓여진 상기 검사 대상물을 향해 X선을 조사하는 조사수단(131)을 구비하는 X선 조사부(130); 상기 상부 프레임(111) 상에 구비되며, 상기 조사수단(131)으로부터 조사되어 상기 검사 대상물을 투과한 X선을 감지하는 감지수단(141), 상기 감지수단(141)이 상기 스테이지(121)로부터 소정 간격 이격되도록 부착 고정되며 상기 감지수단(141)을 상기 스테이지(121) 위치를 기준으로 하여 제3축을 중심으로 회전시키는 제3축중심 회전수단(142c), 상기 감지수단(141)-상기 제3축중심 회전수단(142c)로 이루어지는 조립체를 상기 스테이지(121) 위치를 기준으로 하여 제2축을 중심으로 회전시키는 제2축중심 회전수단(142b), 상기 감지수단(141)-상기 제3축중심 회전수단(142c)-상기 제2축중심 회전수단(142b)으로 이루어지는 조립체를 제1축 방향으로 이동시키는 제1축방향 이동수단(142a)을 구비하는 이동식 감지부(140); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 3차원 측정, 3차원 검사, 미세 가공 부품, 반도체, 디스플레이, X선, 반구
|
