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챔버 내 하단 용기에 위치한 마그네슘 분말을 가열하여 용해시키는 단계(단계 1);
챔버 내 상단 용기에 위치한 사염화지르코늄 분말(ZrCl4)을 기화시키는 단계(단계 2);
기화된 사염화지르코늄이 액상 마그네슘과 접촉하여 반응하는 단계(단계 3); 및
하단 용기에 존재하는 미반응 마그네슘을 산 용액에 용해시켜 지르코늄 분말을 얻은 후 세척 및 건조시키는 단계(단계 4)를 포함하고,
상기 단계 1에서 마그네슘 분말을 가열시키는 동안, 상단 용기의 사염화 지르코늄 분말은 기화되지 않도록 상단 용기 외벽의 냉각 순환부를 통하여 열을 차단하는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1을 수행하기 전 챔버 내부를 아르곤 또는 질소 가스로 퍼징(purging)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 가열은 분당 8 ~ 12 ℃의 승온속도로 750 ~ 850 ℃까지 승온시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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삭제
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제1항에 있어서, 열의 차단을 위한 외벽의 냉각 순환부를 통하여 순환되는 냉매는 헬륨 또는 아르곤 가스인 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 상단 용기 외벽의 냉각 순환부를 통하여 수행되는 열의 차단은 상단 용기의 온도를 150 ~ 200 ℃의 범위로 유지시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 사염화 지르코늄 분말의 기화는 600 ~ 700 ℃의 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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8
제1항에 있어서, 상기 단계 3의 반응은 3 ~ 10 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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9
제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 기화된 사염화 지르코늄이 액상 마그네슘과 효과적으로 반응하게 하기 위하여, 기화된 사염화 지르코늄을 하단용기로 유도하는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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10
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 산 용액은 염산, 질산 또는 황산 수용액인 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조방법
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11
마그네슘을 수용하기 위한 하단 용기;
이의 상부에 위치하고, 외벽에 냉각 순환부를 구비하고 있는 사염화 지르코늄을 수용하기 위한 상단 용기;
상기 상단 용기에서 기화된 사염화 지르코늄을 하단 용기로 유도하기 위하여, 상기 상단 용기와 이격되어 둘러싸며 구비된 캡(cap);
상기 하단 용기, 상단 용기 및 캡을 둘러싸 외벽을 형성하고 상부에는 리드(lead)를 구비하는 챔버; 및
상기 챔버 내부를 가열시키기 위한 가열부를 포함하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조장치
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12
제11항에 있어서, 상기 상단 용기의 냉각 순환부는 헬륨 또는 아르곤 가스의 순환에 의한 냉각 순환부인 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조장치
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제11항에 있어서, 상기 캡의 재질은 스테인레스 스틸인 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조장치
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제11항에 있어서, 상기 챔버 상부의 리드(lead)에 챔버 내의 진공 환경 형성을 위한 진공 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 지르코늄 금속분말의 제조장치
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