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박막 제조용 슬롯 다이 코터

  • 기술번호 : KST2015128695
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 제조용 슬롯 다이 코터에 있어서, 상기 박막 제조용 슬롯 다이 코터의 내부 일측에는, 물리적 또는 화학적 코팅에 의해 형성되어 내부로 유입된 코팅용액의 유출을 가능하게 하는 안내필름이 구비되며, 상기 안내필름은 일방향으로 개구된 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 의한 박막 제조용 슬롯 다이 코터는, 서로 결합하여 내부에 완충댐이 함몰 형성된 상부몸체 및 하부몸체와, 상기 상부몸체와 하부몸체 사이에 물리적 또는 화학적 코팅에 의해 형성되어 완충댐이 외부와 연통되도록 하는 안내필름을 포함하여 구성되며, 상기 안내필름은 일방향으로 개구된 것을 특징으로 한다.
Int. CL B05C 11/10 (2006.01) B05C 5/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC B05C 5/0204(2013.01) B05C 5/0204(2013.01) B05C 5/0204(2013.01) B05C 5/0204(2013.01) B05C 5/0204(2013.01) B05C 5/0204(2013.01)
출원번호/일자 1020100039760 (2010.04.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1011946-0000 (2011.01.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110131) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정국채 대한민국 경상남도 진해시
2 정태정 대한민국 경상남도 창원시
3 최규채 대한민국 부산광역시 동래구
4 이정구 대한민국 경상남도 창원시 가
5 김영국 대한민국 경상남도 마산시
6 최철진 대한민국 경상남도 창원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0277136-56
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0276933-50
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2010.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2010.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2010-0027319-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0296803-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0584320-74
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0584345-15
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0503655-78
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0762868-02
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0762894-89
11 등록결정서
Decision to grant
2011.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0040320-41
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 결합하여 내부에 완충댐이 함몰 형성된 상부몸체 및 하부몸체와,상기 하부몸체의 상면에 증착되어 코팅용액의 유동을 안내하는 코팅층과,상기 코팅층의 일측에 물리적 또는 화학적 코팅에 의해 형성되고, 일방향으로 개구되어 완충댐이 외부와 연통되도록 하는 안내필름을 포함하여 구성되며,상기 안내필름과 코팅층은 상부몸체와 하부몸체를 이격시켜 코팅유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
2 2
서로 결합하여 내부에 완충댐이 함몰 형성된 상부몸체 및 하부몸체와,상기 하부몸체의 상면에 물리적 또는 화학적 코팅에 의해 형성되고, 일방향으로 개구되어 완충댐이 외부와 연통되도록 하는 안내필름을 포함하여 구성되며,상기 안내필름은 상부몸체와 하부몸체를 이격시켜 코팅유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 안내필름은, 스퍼터링법, 열증발법, 전자빔증발법, 펄스 레이저증착법, 화학기상증착법 중 어느 하나의 방법으로 형성됨을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 안내필름은, 금속, 세라믹, 반도체, 고분자 수지 중 어느 하나 이상으로 형성됨을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 안내필름은, 코팅용액과 반응하지 않는 재질로 형성됨을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
6 6
제 2 항에 있어서, 상기 상부몸체와 하부몸체의 마주하는 면은 10㎛ 이하의 표면조도를 갖는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 안내필름은 10㎛이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 박막 제조용 슬롯 다이 코터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 부설 재료연구소 과학기술국제화사업 초전도 재료 및 응용을 위한 혁신적 자속고정점의 설계 및 개발