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구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법

  • 기술번호 : KST2015128698
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 고정밀 패턴 구리도금 구조물은, 0.26M ~ 1M의 CuSO4와, 0.5M ~ 2M의 H2SO4와, TU(CH4N2S) 및 SVH(C10H13NO3S)를 포함하는 유기물첨가제로 이루어진 구리도금액 및 패턴을 가지는 마스터에 펄스 전류를 인가하여 형성된다. 또한, 본 발명에 의한 구리도금액은, 0.26M ~ 1M의 CuSO4와, 0.5M ~ 2M의 H2SO4와, TU(CH4N2S) 및 SVH(C10H13NO3S)를 포함하는 유기물첨가제로 이루어지며, 상기 유기물첨가제는 100~300ppm의 TU(CH4N2S)와 200ppm 이하의 SVH(C10H13NO3S)가 첨가되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C25D 7/00 (2006.01) C25D 3/38 (2006.01) C25F 3/14 (2006.01)
CPC C25D 1/003(2013.01) C25D 1/003(2013.01) C25D 1/003(2013.01) C25D 1/003(2013.01)
출원번호/일자 1020100061968 (2010.06.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1188130-0000 (2012.09.27)
공개번호/일자 10-2012-0001264 (2012.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20121009) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주열 대한민국 경상남도 김해시
2 권식철 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김만 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 이상열 대한민국 경상남도 김해시
5 임성봉 대한민국 경상남도 창원시 의창구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이성재 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0419352-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0003931-67
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0118676-75
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0280126-40
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0280114-03
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0547450-68
10 등록결정서
Decision to grant
2012.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0565381-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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제 10 항에 있어서, 상기 도금층형성과정은, 상기 마스터 일측에 산화 전류를 인가하는 과정임을 특징으로 하는 구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 도금층형성과정은, 600~680㎃/㎠의 전류밀도 범위가 적용됨을 특징으로 하는 구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 도금층에칭과정은, 상기 마스터 일측에 환원 전류를 인가하는 과정임을 특징으로 하는 구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
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제 13 항에 있어서, 상기 도금층에칭과정은, -150 ~ -190㎃/㎠의 전류밀도 범위가 적용됨을 특징으로 하는 구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 도금층형성과정과 도금층에칭과정은 1:2 ~ 1:4 시간비로 실시됨을 특징으로 하는 구리도금액을 이용한 고정밀 패턴 구리도금 구조물의 형성방법
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1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 21세기프론티어기술개발사업 전자파 차폐용 초정밀 극박 메쉬 고품질화 기술 개발