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가공물 위에 보호층을 형성하는 단계,상기 보호층에 보호층 패턴을 형성하는 단계,상기 보호층 패턴의 개구부를 통하여 가공 레이저 빔을 상기 가공물에 조사하여 상기 가공물에 가공 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 가공 레이저 빔에 대한 상기 보호층의 흡수율은 상기 가공 레이저 빔에대한 상기 가공물의 흡수율보다 낮은 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 가공 레이저 빔을 조사하는 동시에 상기 가공 레이저 빔의 초점을 상기가공 패턴의 깊이 방향으로 하강시키면서 상기 가공 패턴을 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제2항에서,상기 가공 패턴의 폭보다 더 깊은 깊이를 형성하도록 가공하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 보호층 패턴은 상기 보호층을 습식 식각하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 보호층 패턴은 상기 가공 레이저 빔과 동일한 파장이며, 상기 가공 레이저 빔보다 출력이 높은 패턴 레이저 빔을 조사하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 보호층 패턴은 상기 가공 레이저 빔과 다른 파장의 패턴 레이저 빔을 조사하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 가공 레이저 빔이 Nd:YAG 레이저에서 조사한 가공 레이저 빔인 경우, 상기 가공물은 탄화 규소(SiC)로 형성하고, 상기 보호층은 구리(Cu), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 중에서 선택한 어느 하나로 스퍼터링하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 가공 레이저 빔이 Nd:YAG 레이저에서 조사한 가공 레이저 빔인 경우, 상기 가공물은 산화 알루미늄(Al2O3)으로 형성하고, 상기 보호층은 구리(Cu) 또는 은(Ag) 중에서 선택한 어느 하나로 도금하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 가공 레이저 빔이 Nd:YAG 레이저에서 조사한 가공 레이저 빔인 경우, 상기 가공물은 철(Fe)로 형성하고, 상기 보호층은 구리(Cu), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 중에서 선택한 어느 하나로 스퍼터링 또는 도금하여 형성하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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제1항에서,상기 보호층을 제거하는 단계를 더 포함하는 레이저를 이용한 패턴 형성 방법
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