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(A) 작업공간과 닮음꼴인 측정공간의 마주보는 꼭지점을 연결하는 4개의 대각선벡터 중 적어도 3개의 대각선벡터 각각의 X축 방향 오차, Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 계산하는 단계; 및(B) 상기 (A)단계에서의 계산 결과를 이용하여 아래의 값들을 산출하는 단계;를 포함하고,(단, (a=X, Y, Z; b=X, Y, Z)는 테이블이 b축 방향으로 움직일 때의 a축 방향 오차
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제1항에 있어서,상기 (D)단계는,(D-1) 상기 해당 대각선벡터에 X축방향 미세변위가 가해져 형성된 X축방향 미세변위 대각선벡터의 크기를 측정하는 단계;(D-2) 상기 X축방향 미세변위 대각선벡터의 크기와, 상기 해당 대각선벡터의 크기와, 상기 X축방향 미세변위의 크기를 이용하여 상기 X축방향 미세변위 대각선벡터와 상기 해당 대각선벡터 사이의 각도를 계산하는 단계; 및(D-3) 상기 (D-2)단계에서 계산된 각도와, 상기 X축방향 미세변위 대각선벡터의 크기와, 상기 X축방향 미세변위의 크기를 이용하여 상기 해당 대각선벡터와 Y-Z 평면이 이루는 각도를 계산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법
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제5항에 있어서,상기 (D-3)단계에서 상기 해당 대각벡선터와 Y-Z 평면이 이루는 각도는 아래 수학식에 의해 계산되는 것을 특징으로 하는 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법
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(A) 작업공간과 닮음꼴인 측정공간의 마주보는 꼭지점을 연결하는 4개의 대각선벡터 중 적어도 3개의 대각선벡터 각각의 X축 방향 오차, Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 계산하는 단계; 및(B) 상기 (A)단계에서의 계산 결과를 이용하여 아래의 값들을 산출하는 단계;를 포함하고,(단, (a=X, Y, Z; b=X, Y, Z)는 테이블이 b축 방향으로 움직일 때의 a축 방향 오차
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제7항에 있어서,상기 (H)단계는,(H-1) 상기 해당 대각선벡터에 Y축방향 미세변위가 가해져 형성된 Y축방향 미세변위 대각선벡터의 크기를 측정하는 단계;(H-2) 상기 Y축방향 미세변위 대각선벡터의 크기와, 상기 해당 대각선벡터의 크기와, 상기 Y축방향 미세변위의 크기를 이용하여 상기 Y축방향 미세변위 대각선벡터와 상기 해당 대각선벡터 사이의 각도를 계산하는 단계; 및(H-3) 상기 (H-2)단계에서 계산된 각도와, 상기 Y축방향 미세변위 대각선벡터의 크기와, 상기 Y축방향 미세변위의 크기를 이용하여 상기 해당 대각선벡터와 Z-X 평면이 이루는 각도를 계산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법
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제8항에 있어서,상기 (H-3)단계에서 상기 해당 대각선벡터와 Z-X 평면이 이루는 각도는 아래 수학식에 의해 계산되는 것을 특징으로 하는 3축 이송테이블을 갖는 기계의 오차 측정 방법
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(A) 작업공간과 닮음꼴인 측정공간의 마주보는 꼭지점을 연결하는 4개의 대각선벡터 중 적어도 3개의 대각선벡터 각각의 X축 방향 오차, Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 계산하는 단계; 및(B) 상기 (A)단계에서의 계산 결과를 이용하여 아래의 값들을 산출하는 단계;를 포함하고,(단, (a=X, Y, Z; b=X, Y, Z)는 테이블이 b축 방향으로 움직일 때의 a축 방향 오차
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