요약 | 본 발명은 나노 구조물을 변형없이 자유롭게 탈부착할 수 있는 척에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 척은 전자석으로 형성된 몸체, 가장자리부가 상기 몸체의 일면에 고정되도록 부착된 자성체 및 상기 자성체의 상기 몸체가 위치하는 반대쪽 면에 부착된 소프트 폴리머를 포함한다. 상기 자성체의 중앙부는 상기 몸체에 전원이 연결된 경우 몸체에 밀착하고, 상기 몸체에 전원이 연결되지 않은 경우 상기 몸체와 이격된다. |
---|---|
Int. CL | B65G 49/07 (2006.01) C08L 83/04 (2006.01) H05K 13/04 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) |
CPC | H05K 13/046(2013.01) H05K 13/046(2013.01) H05K 13/046(2013.01) H05K 13/046(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100030075 (2010.04.01) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-0998087-0000 (2010.11.26) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20101203) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | 1020100085031;1020100085032; |
심사청구여부/일자 | Y (2010.04.01) |
심사청구항수 | 4 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김재현 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 장봉균 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 김광섭 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 최현주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
5 | 이학주 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 팬코리아특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0209889-89 |
2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2010.04.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0264742-11 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.06.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.07.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0040431-83 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.07.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0316496-73 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565678-13 |
7 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565763-96 |
8 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565760-59 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.08.31 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0565679-58 |
10 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0516777-33 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 삭제 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 삭제 |
5 |
5 삭제 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 전자석으로 형성된 몸체;가장자리부가 상기 몸체의 일면에 고정되도록 부착된 자성체; 및상기 자성체의 상기 몸체가 위치하는 반대쪽 면에 부착된 소프트 폴리머를 포함하고,상기 자성체의 중앙부는, 상기 몸체에 전원이 연결된 경우 몸체에 밀착하고, 상기 몸체에 전원이 연결되지 않은 경우 상기 몸체와 이격되는, 척 |
10 |
10 제9항에 있어서,상기 소프트 폴리머는 상기 자성체에 고정되도록 부착된, 척 |
11 |
11 제9항에 있어서,상기 소프트 폴리머는 폴리디메틸실록산, 실리콘 고무 및 부틸 고무 중 어느 하나를 포함하는, 척 |
12 |
12 제9항에 있어서,상기 자성체는 영구 자석인, 척 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | KR101027752 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | KR101045102 | KR | 대한민국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 지식경제부,교육과학기술부 | 한국기계연구원 | 산업원천기술개발사업 | 멀티스케일 소자/패턴 전사공정 및 모듈화 기술개발, 10nm급 측정 원천 기술개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-0998087-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20100401 출원 번호 : 1020100030075 공고 연월일 : 20101203 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101115 청구범위의 항수 : 4 유별 : H05K 13/04 발명의 명칭 : 능동 탈부착 척 존속기간(예정)만료일 : 20191127 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 100,500 원 | 2010년 11월 26일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 128,000 원 | 2013년 09월 04일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 128,000 원 | 2014년 09월 17일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 128,000 원 | 2015년 09월 09일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 252,000 원 | 2016년 09월 07일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 176,400 원 | 2017년 09월 07일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 126,000 원 | 2018년 09월 07일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0209889-89 |
2 | [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 | 2010.04.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0264742-11 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.06.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2010.07.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0040431-83 |
5 | 의견제출통지서 | 2010.07.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0316496-73 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565678-13 |
7 | [분할출원]특허출원서 | 2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565763-96 |
8 | [분할출원]특허출원서 | 2010.08.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0565760-59 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.08.31 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0565679-58 |
10 | 등록결정서 | 2010.11.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0516777-33 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1345141734 |
---|---|
세부과제번호 | 14-2008-05-001-00 |
연구과제명 | 10nm급 나노측정 원천기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200804~201203 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345141734 |
---|---|
세부과제번호 | 14-2008-05-001-00 |
연구과제명 | 10nm급 나노측정 원천기술개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200804~201203 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415108119 |
---|---|
세부과제번호 | 10033309 |
연구과제명 | 멀티스케일 소자/패턴 전사 공정 및 모듈화 기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200906~201405 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
[1020110062839] | 플렉서블 비휘발성 메모리 소자용 강유전체 캐패시터, 플렉서블 비휘발성 강유전체 메모리 소자 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020110044690] | 무기고체층을 포함하는 플렉서블 장치 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020110041887] | 대면적 전사용 스탬프 및 이를 이용한 대면적 전사 장비 | 새창보기 |
[1020100133924] | 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100129904] | 나노 금속 박막의 응력 변화 자동 측정 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020100095322] | 변형률 측정 장치 | 새창보기 |
[1020100095321] | 변위 측정 장치 | 새창보기 |
[1020100085032] | 점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척 | 새창보기 |
[1020100085031] | 능동 탈부착 척 | 새창보기 |
[1020100055248] | 프린팅 공정 시뮬레이션 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020100030277] | 대면적 전사용 유연 스탬프, 상기 대면적 전사용 유연 스탬프를 이용한 대면적 전사용 스탬프 헤드 모듈 및 상기 대면적 전사용 스탬프 헤드 모듈을 이용한 대면적 전사 장비 | 새창보기 |
[1020100030075] | 능동 탈부착 척 | 새창보기 |
[1020100025948] | 박막 트랜지스터 패널 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100019421] | 박리공정을 이용한 박막형 유연 열전 모듈 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100017050] | 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 탄성 계수 측정 방법, 이중 섹션을 구비한 박막 시편을 이용한 열팽창 계수 측정 방법, 탄성 계수 및 열팽창 계수 측정용 박막 시편을 이용한 탄성 계수 및 열팽창 계수 측정 장치 | 새창보기 |
[1020090101418] | 열전모듈 제조기술 | 새창보기 |
[1020080101503] | 물성 시험장치 | 새창보기 |
[1020080101503] | 공명현상을 이용한 나노/마이크로 스케일의 박막의 기계 전기 물성 측정 시험장치 | 새창보기 |
[1020080062492] | 프로브카드용 멤스 프로브기술 | 새창보기 |
[1020070074570] | 동심원 좌굴을 이용한 수직형 프로브 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015128730][한국기계연구원] | 가이드 구조를 갖는 자기부상 이송 시스템 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015130715][한국기계연구원] | 진공 척 | 새창보기 |
[KST2015130714][한국기계연구원] | 진공 척 | 새창보기 |
[KST2015128974][한국기계연구원] | 픽업 장치 및 방법 | 새창보기 |
[KST2019026070][한국기계연구원] | 마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사방법으로 제조된 마이크로 소자 기판 | 새창보기 |
[KST2016002453][한국기계연구원] | 계층화 구조물 제조 장치 | 새창보기 |
[KST2014066299][한국기계연구원] | 글라스 이송장치 | 새창보기 |
[KST2015129380][한국기계연구원] | 반도체 칩 픽업 장치 | 새창보기 |
[KST2016003927][한국기계연구원] | 수직형 리니어모터를 이용한 자기부상 반송장치 | 새창보기 |
[KST2022000159][한국기계연구원] | 친수성 미세 스탬프 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2022002961][한국기계연구원] | 불량 소자 제거용 스탬프 및 이를 포함하는 불량 소자 제거용 장치 | 새창보기 |
[KST2016003928][한국기계연구원] | 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치 | 새창보기 |
[KST2016002455][한국기계연구원] | 점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척 | 새창보기 |
[KST2015130852][한국기계연구원] | 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트 | 새창보기 |
[KST2014066259][한국기계연구원] | 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치 | 새창보기 |
[KST2023007601][한국기계연구원] | 기능성 접착 필름 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015128762][한국기계연구원] | 능동 탈부착 척 | 새창보기 |
[KST2018004724][한국기계연구원] | 자기부상 이송 장치(MAGNETIC LEVITATION TRANSFER SYSTEM) | 새창보기 |
[KST2022012912][한국기계연구원] | 바이오필름 형성 억제를 위한 마이크로 구조물이 구비된 필름 제조 방법, 및 이를 이용한 필름 | 새창보기 |
[KST2016003929][한국기계연구원] | 스프링을 갖는 자기부상 이송 시스템 | 새창보기 |
[KST2022000160][한국기계연구원] | 친수성 미세 스탬프 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2016004236][한국기계연구원] | 반도체칩 픽킹장치 | 새창보기 |
[KST2022002763][한국기계연구원] | 소자 리페어 장치 | 새창보기 |
[KST2022000133][한국기계연구원] | 페로브스카이트 결정 구조를 갖는 나노 입자의 제조 방법 및 나노 입자를 포함하는 수지 조성물 | 새창보기 |
[KST2015128812][한국기계연구원] | 자기부상 인쇄회로기판 이송 시스템 | 새창보기 |
[KST2018010843][한국기계연구원] | 불량소자의 리페어 방법 및 이를 위한 리페어 장치 | 새창보기 |
[KST2015128806][한국기계연구원] | 무동력 트레이를 갖는 자기부상 반송장치 | 새창보기 |
[KST2015128981][한국기계연구원] | 곡선 주행 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템 | 새창보기 |
[KST2015130042][한국기계연구원] | 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템 | 새창보기 |
[KST2015128432][한국기계연구원] | 반도체패키지의 프레스 자재 이송장치 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|