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전자빔 얼라인먼트용 패러데이 컵 및 이를 이용한 전자빔 얼라인먼트 방법

  • 기술번호 : KST2015128721
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패러데이 컵에 관한 것으로서, 전자빔을 감지하는 패러데이컵에 있어서, 상기 패러데이컵의 중앙에 위치하는 중앙메쉬망과 상기 중앙메쉬망을 둘러싸는 복수의 주변메쉬망 및 상기 중앙메쉬망과 상기 주변메쉬망을 각각 분리시키는 절연막을 포함하여 구성됨으로써, 전자빔 프르브 전류를 측정할 수 있을 뿐만 아니라 전자빔이 전자 렌즈 축과의 편향된 정도를 알려주어 전자빔 얼라인먼트를 용이하게 할 수 있다.
Int. CL H01J 37/21 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/21(2013.01) H01J 37/21(2013.01) H01J 37/21(2013.01) H01J 37/21(2013.01) H01J 37/21(2013.01) H01J 37/21(2013.01)
출원번호/일자 1020100039097 (2010.04.27)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1097760-0000 (2011.12.16)
공개번호/일자 10-2011-0079454 (2011.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20111222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020090134612   |   2009.12.30
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전광역시 서구
2 강재훈 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0273160-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0036887-73
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0320391-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0614552-32
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0614550-41
9 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0711999-71
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자빔을 감지하는 패러데이컵에 있어서,상부에 개구부를 구비하는 컵 하우징;상기 개구부의 중앙 영역에 설치되는 원 모양의 중앙메쉬망; 상기 중앙메쉬망을 둘러싸도록 상기 개구부에 복수로 설치되는 원호 모양의 주변메쉬망;상기 중앙메쉬망과 주변메쉬망 사이를 분리시키도록 상기 중앙메쉬망의 둘레에 설치되는 링 형태의 제1절연막; 및상기 각 주변메쉬망 사이를 분리시키도록 상기 각 주변메쉬망 사이의 경계에 설치되는 복수의 제2절연막을 포함하는 패러데이 컵
2 2
제1항에 있어서,상기 주변메쉬망은 4개로 이루어지는 것을 특징으로 하는 패러데이 컵
3 3
삭제
4 4
제1항 또는 제2항을 따르는 패러데이 컵을 이용하여 전자빔을 얼라인먼트하는 방법에 있어서,메쉬망에 전자빔이 검출되는지 체크하는 단계;메쉬망에 전자빔이 검출되는 경우 주변메쉬망에 전자빔이 검출되는지 체크하는 단계;주변메쉬망에 전자빔이 검출되는 경우 중앙메쉬망으로 전자빔을 얼라인먼트하는 단계;중앙메쉬망에만 전자빔이 검출되면 얼라인먼트를 종료하는 단계를 포함하는 전자빔 얼라인먼트 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 나노융합 생산시스템본부 한국기계연구원 주요 사업 프린팅 롤 광응용 미세 패터닝 기술