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미세 패턴의 결함 검사 장치

  • 기술번호 : KST2015128727
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 패턴의 결함을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다.본 발명은, 지지판; 상기 지지판에 의해 지지되는 지그에 장착되고, 피검사체에 형성된 미세 패턴의 일부 영역인 검사 영역에 빛을 조사하는 광원; 및 상기 지지판에 장착된 카메라;를 포함하되, 상기 광원과, 피검사체와, 카메라의 상대적 위치관계는 상기 검사 영역에 있는 결함으로 인해 산란된 빛만이 상기 카메라로 유입될 수 있도록 설정되고, 상기 카메라의 초점은 상기 검사 영역보다 가까운 곳 또는 먼 곳에 맞춰진 것을 특징으로 하는 미세 패턴의 결함 검사 장치를 제공한다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01N 21/956 (2006.01)
CPC G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01)
출원번호/일자 1020100048714 (2010.05.25)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1190205-0000 (2012.10.05)
공개번호/일자 10-2011-0129206 (2011.12.01) 문서열기
공고번호/일자 (20121012) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오정석 대한민국 대전광역시 유성구
2 박천홍 대한민국 대전광역시 유성구
3 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
4 유준호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0334259-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2012-0026702-02
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0251478-73
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0501112-85
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0501111-39
9 등록결정서
Decision to grant
2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0566775-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
지지판;상기 지지판에 의해 지지되는 지그에 장착되고, 피검사체에 형성된 미세 패턴의 일부 영역인 검사 영역에 빛을 조사하는 광원; 및상기 지지판에 장착된 카메라;를 포함하되,상기 광원과, 피검사체와, 카메라의 상대적 위치관계는 상기 검사 영역에 있는 결함으로 인해 산란된 빛만이 상기 카메라로 유입될 수 있도록 설정되고, 상기 카메라의 초점은 상기 검사 영역보다 가까운 곳 또는 먼 곳에 맞춰지며,상기 카메라가 위치하는 방향에서 상기 피검사체를 보았을 때, 상기 광원으로부터 조사된 빛의 진행 방향과 상기 미세 패턴의 연장 방향은 평행하게 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴의 결함 검사 장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 지그는,상기 지지판에 고정된 고정 지그;상기 카메라의 길이 방향과 평행한 방향으로 연장하는 축을 회전축으로 하여 회전할 수 있도록 상기 고정 지그에 장착되는 회전 지그; 및상기 회전 지그의 길이 방향을 따라 슬라이딩할 수 있도록 상기 회전 지그에 장착되는 슬라이딩 지그;를 포함하고,상기 광원은 상기 슬라이딩 지그의 길이 방향을 따라 슬라이딩할 수 있도록, 그리고 상기 카메라의 폭 방향과 평행한 방향으로 연장하는 축을 회전축으로 하여 회전할 수 있도록 상기 슬라이딩 지그에 장착되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 결함 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 지지판을 지지하는 2축 이송 테이블을 포함하되,상기 2축 이송 테이블은 상기 카메라의 폭 방향과 평행한 방향 및 상기 카메라의 길이 방향과 평행한 방향을 따라 이동 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 결함 검사 장치
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제4항에 있어서,상기 지지판은 상기 카메라의 높이 방향과 평행한 방향으로 연장하는 축을 회전축으로 회전할 수 있도록 상기 2축 이송 테이블에 장착되는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 결함 검사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 산업원천기술개발사업 대면적 미세 가공장비 및 측정/검사 원천기술 개발