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로카테스트 챔버와,상기 로카테스트 챔버에 배치되어 상기 로카테스트 챔버의 내부온도를 측정하는 온도센서와,상기 로카테스트 챔버에 배치되어 상기 로카테스트 챔버의 내부압력을 측정하는 압력측정부와,상기 온도센서에서 측정된 상기 내부온도를 근거로 화학물질의 열교환 양을 조절하고, 상기 화학물질을 예열하여 상기 로카테스트 챔버에 공급하는 화학물질공급부와,상기 온도센서에서 측정된 상기 내부온도를 근거로 공기의 열교환 양을 조절하고, 상기 공기를 예열하여 상기 로카테스트 챔버에 공급하며, 상기 압력측정부에서 측정된 상기 내부압력을 근거로 상기 로카테스트 챔버에 공급되는 상기 공기의 양을 조절하는 공기공급부와,상기 온도센서에서 측정된 상기 내부온도를 근거로 수증기의 양을 조절하여 상기 로카테스트 챔버에 공급하는 수증기공급부를 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 화학물질공급부는,상기 화학물질을 유동시키는 화학물질펌프부와,상기 화학물질펌프부와 상기 로카테스트 챔버 사이에 배치되는 화학물질예열부를 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 2에 있어서,상기 화학물질예열부는,상기 화학물질펌프부로부터 상기 로카테스트 챔버로 공급되는 상기 화학물질을 가열하는 제 1 히터부와,상기 로카테스트 챔버의 온도를 근거로 상기 제 1 히터부의 온도를 제어하는 제 1 히터제어부를 구비하는 로카테스트 시스템
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청구항 3에 있어서,상기 제 1 히터제어부는 상기 제 1 히터부를 유동하여 상기 화학물질과 열교환하는 제 1 가열유체를 단속하는 제 1 제어 밸브를 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 공기공급부는,상기 공기를 저장하고, 상기 로카테스트 챔버로 상기 공기를 공급하는 공기탱크와,상기 로카테스트 챔버로 공급되는 상기 공기를 가열하는 공기예열부를 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 5에 있어서,상기 공기예열부는, 상기 공기탱크로부터 상기 로카테스트 챔버로 공급되는 상기 공기를 가열하는 제 2 히터부와,상기 로카테스트 챔버의 온도를 근거로 상기 제 2 히터부의 온도를 제어하는 제 2 히터제어부를 구비하는 로카테스트 시스템
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청구항 6에 있어서,상기 제 2 히터제어부는 상기 제 2 히터부를 유동하여 상기 공기와 열교환하는 제 2 가열유체를 단속하는 제 2 제어 밸브를 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 로카테스트 챔버의 온도를 근거로 상기 수증기공급부로부터 상기 로카테스트 챔버로 유동하는 상기 수증기를 단속하는 단속부를 더 포함하는 로카테스트 시스템
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청구항 8에 있어서,상기 단속부는 상기 로카테스트 챔버의 온도를 근거로 상기 수증기를 단속하는 제 3 제어 밸브를 포함하는 로카테스트 시스템
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