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솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법

  • 기술번호 : KST2015128787
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 잉크젯 프린팅을 통해 형성된 전극 상부에 금속층을 붓도금함으로써 저비용 공정을 통해 안정적으로 미세전극패턴을 형성할 수 있고, 전극배선의 높은 종횡비를 달성할 수 있는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법에 관한 것으로, 솔라셀 웨이퍼의 표면에 소수성 레이어를 코팅하는 소수성물질 코팅단계와, 상기 소수성 레이어가 경화되도록 열처리하는 소프트베이킹 단계와, 전극이 형성될 위치에 코팅되어 있는 상기 소수성 레이어 및 SiNx를 제거하는 레이저 패터닝 단계와, 패턴에 맞게 전도성 잉크를 분사하는 비접촉 잉크젯 전극패턴 단계와, 분사된 상기 잉크가 경화되어 전극을 형성하도록 열처리하는 경화단계와, 전력을 공급하는 파워팩(power pack)의 양극선과 전기적으로 연결되고 전해액을 공급하는 브러쉬를 상기 파워팩의 음극선과 전기적으로 연결된 전극에 접촉시킴으로써 상기 전극의 두께를 두껍게 하는 붓도금 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/04 (2014.01) H01L 31/0224 (2014.01)
CPC H01L 31/022425(2013.01) H01L 31/022425(2013.01)
출원번호/일자 1020100084836 (2010.08.31)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1005005-0000 (2010.12.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20101230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동윤 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0564734-04
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0574454-04
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.09.30 수리 (Accepted) 9-1-2010-0060551-11
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0452452-21
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0777917-92
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0777921-75
8 등록결정서
Decision to grant
2010.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0577054-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
솔라셀 웨이퍼의 표면에 소수성(疏水性) 레이어를 코팅하는 소수성물질 코팅단계;상기 소수성 레이어가 경화되도록 열처리하는 소프트베이킹 단계;전극이 형성될 위치에 코팅되어 있는 상기 소수성 레이어 및 SiNx를 제거하는 레이저패터닝 단계;패턴에 맞게 전도성 잉크를 분사하는 비접촉 잉크젯 전극패턴 단계;분사된 상기 잉크가 경화되어 전극을 형성하도록 열처리하는 경화단계;전력을 공급하는 파워팩(power pack)의 양극선과 전기적으로 연결되고 전해액을 공급하는 브러쉬를 상기 파워팩의 음극선과 전기적으로 연결된 전극에 접촉시킴으로써 상기 전극의 두께를 두껍게 하는 붓도금 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 붓도금 단계는 상기 파워팩의 음극선이 상기 전극에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 붓도금 단계는 상기 파워팩의 음극선이 상기 솔라셀 웨이퍼의 하부면에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 비접촉 잉크젯 전극패턴 단계는 은(Au) 혹은 구리(Cu)를 기반으로 하는 전도성 잉크를 사용하고, 상기 붓도금 단계는 은(Ag) 혹은 구리(Cu)를 기반으로 하는 전해액을 사용하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
5 5
제1항에 있어서,상기 붓도금 단계는,구리(Cu)를 기반으로 하는 전해액을 사용하는 제1차 붓도금 단계와,은(Ag)을 기반으로 하는 전해액을 사용함으로써 상기 제1차 붓도금 단계에서 형성된 전극의 산화를 방지하는 제2차 붓도금단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
6 6
제1항에 있어서,상기 붓도금 단계에서 솔라셀 웨이퍼에 광을 조사함으로써 붓도금을 용이하게 하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 전극 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 삼익THK(주) 신재생에너지기술개발사업 결정질 실리콘 태양전지용 잉크젯 전극형성 기술적용사업