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초음파 진동자 및 그것을 구비한 초음파 세정장치

  • 기술번호 : KST2015128828
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파 진동자 및 그것을 구비한 초음파 세정장치에 관한 것이다.본 발명의 초음파 진동자는, 전원을 공급받아 진동하는 압전소자와 상기 압전소자가 부착되어 초음파를 출력하는 로드를 갖되 상기 로드에는 세정대상면 등에 반사되어 되돌아오는 반사파가 압전소자에 전달되어 영향을 주지 못하도록 하는 공간이 형성되어 있다.따라서 반사파가 압전소자에 전달되는 것이 방지되고, 이로 인하여 반사파에 의해 초음파의 출력성능에 큰 편차가 발생되는 현상이 발생되지 않는다.이러한 본 발명의 초음파 진동자를 구비하고 있는 초음파 세정장치는 세정력의 큰 편차 없이 우수한 세정효율을 유지하는 특징이 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B08B 3/12 (2006.01) B01J 19/10 (2006.01)
CPC B08B 3/12(2013.01) B08B 3/12(2013.01) B08B 3/12(2013.01) B08B 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020110088799 (2011.09.02)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1206392-0000 (2012.11.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.02)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
2 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 이엠티 인천광역시 남동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0686678-07
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0803091-74
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0710128-63
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0075171-31
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0075145-54
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0216452-21
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0460719-82
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553808-06
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0553795-90
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0542885-90
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.10.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0830723-99
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0830756-95
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0640213-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전원을 공급받아 진동하는 압전소자(10)와 상기 압전소자(10)가 부착되어 초음파를 출력하는 로드(20)를 갖는 초음파 진동자에 있어서,상기 로드(20) 중 반사되어 압전소자로 되돌아오는 반사파의 이동경로가 되는 지점에 공간(21)이 형성되어 있되 로드(20)의 어느 한쪽 측면에서 마주하는 측면으로 연장된 형태로 형성되어 있어 반사파가 압전소자(10)에 전달되는 것이 방지되며,상기 로드(20)에 형성된 공간(21)은 복수 개이고, 각각의 공간(21)을 초음파가 출력되는 반대방향으로 연장시켰을 때 중복되는 영역(T2)을 갖는 것을 특징으로 하는, 초음파 진동자
2 2
제 1항에 있어서,상기 로드(20)에 형성된 공간(21)을 압전소자가 부착된 상부에서 투영하였을 때 형성되는 상기 공간(21)의 평단면적을 초음파가 출력되는 반대방향으로 연장시켰을 때의 영역(T1) 내에 압전소자(10)가 접촉되는 면적이 모두 포함되는 것을 특징으로 하는, 초음파 진동자
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서,상기 각각의 공간(21)을 초음파가 출력되는 반대방향으로 연장시켰을 때 각각의 공간(21)이 합해진 영역은 로드(20)의 횡단면적 모두를 초음파가 출력되는 반대방향으로 연장시켰을 때의 영역과 일치하는 것을 특징으로 하는, 초음파 진동자
5 5
제 2항에 있어서,상기 공간(21)의 바깥쪽에서 공간(21)을 기준으로 로드(20)의 상부영역과 하부영역을 연결하는 지점(J)이 로드(20)에 적어도 2곳 형성된 것을 특징으로 하는, 초음파 진동자
6 6
삭제
7 7
제 1항, 제 2항, 제 4항, 제 5항 중 어느 한 항에 기재된 초음파 진동자가 구비된 초음파 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(I) 에너지절약형 36nm급 세정용 메가소닉 개발 (3/3)