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마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막 및 이의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015128884
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막은, 기계연마된 대상물의 표면에 형성된 마이크로 크기의 요철과, 상기 요철의 표면에 형성된 나노 크기의 돌기를 포함하는 마이크로-나노 표면구조층과, 상기 마이크로-나노 표면구조층의 외측에 형성된 저마찰층을 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막의 형성 방법은, 내마모 처리 대상물의 표면을 기계 연마하는 연마단계와, 기계 연마된 대상물의 표면에 마이크로 크기의 요철과 나노 크기의 돌기를 포함하는 마이크로-나노 표면구조층을 형성하는 마이크로-나노 표면구조층형성단계와, 상기 마이크로-나노 표면구조층의 외측에 저마찰층을 형성하는 저마찰층형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/58 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01) C23C 14/028(2013.01)
출원번호/일자 1020100106452 (2010.10.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1285724-0000 (2013.07.08)
공개번호/일자 10-2012-0045117 (2012.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20130718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시
2 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 이승훈 대한민국 서울특별시 성동구
4 강재욱 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이성재 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0703148-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0081629-55
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0448487-48
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0692013-97
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0748135-05
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0748133-14
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0108697-89
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0150284-19
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0150294-76
13 등록결정서
Decision to grant
2013.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0429084-07
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
기계연마되고 SCM415로 이루어진 대상물의 표면에 방전가공 또는 마이크로 샌드 블라스팅 공정을 실시하여 형성된 요철과, 상기 요철의 표면에 이온빔 식각 공정을 실시하여 형성된 돌기를 포함하는 마이크로-나노 표면구조층과,상기 마이크로-나노 표면구조층의 외측에 화학기상증착(CVD) 또는 물리기상증착(PVD) 공정으로 형성된 저마찰층을 포함하여 구성되며,상기 요철과 돌기는 대상물과 일체로 형성됨을 특징으로 하는 마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 마이크로-나노 표면구조층은 4
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 저마찰층은 DLC(Diamond-like carbon), 질화물, 탄화물 중 어느 하나 이상을 포함하여 형성됨을 특징으로 하는 마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막
6 6
삭제
7 7
SCM415로 이루어진 내마모 처리 대상물의 표면을 기계 연마하는 연마단계와,기계 연마된 대상물의 표면에 방전가공 또는 마이크로 샌드 블라스팅 공정을 이용하여 대상물의 표면에 요철을 대상물과 일체로 형성하는 요철형성과정과, 상기 요철의 외면에 이온빔 식각 공정을 이용하여 돌기를 요철과 일체로 형성하는 돌기형성과정을 순차적으로 실시하여 마이크로-나노 표면구조층을 형성하는 마이크로-나노 표면구조층형성단계와,상기 마이크로-나노 표면구조층의 외측에 화학기상증착(CVD) 또는 물리기상증착(PVD) 공정으로 저마찰층을 형성하는 저마찰층형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 및 나노 표면구조를 가진 내마모 박막의 형성 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 연마단계에서 대상물의 표면거칠기(Ra)는 0
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 마이크로-나노 표면구조층형성단계는,1
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 마이크로-나노 표면구조층형성단계는 아르곤(Ar)가스가 방전 가스로 사용됨을 특징으로 하는 마이크로 및 나노 표면 구조를 가진 내마모 표면 구조의 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 소재원천기술개발사업 나노표면 다차 구조제어 융복합 공정시스템 기술개발(2/4)