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타이타늄-니켈 합금박막 및 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015128894
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 스퍼터링장치 내부에 Ti타겟과 Ni타겟을 이격시켜 배치하고, 서로 상이한 전압을 인가하여 Ti타겟과 Ni타겟을 동시에 스퍼터링함으로써 기재에 타이타늄(Ti)과 니켈(Ni)이 혼합된 상태로 증착되어 형성된 타이타늄-니켈 합금박막에 있어서, 상기 타이타늄-니켈 합금박막은 500℃ 이상의 온도에서 30분 이상의 시간 동안 열처리(Annealing)하여 결정화됨을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020120069517 (2012.06.28)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1266253-0000 (2013.05.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성웅 대한민국 경남 창원시 성산구
2 염종택 대한민국 경남 김해시 번화*로 ***, **
3 홍재근 대한민국 경남 창원시 성산구
4 박찬희 대한민국 경남 창원시 성산구
5 김정한 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이성재 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0515447-36
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0551443-98
3 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2012.07.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0056252-05
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2012.07.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0552316-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0942425-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0942431-11
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0037208-33
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0198610-14
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0198604-40
11 등록결정서
Decision to grant
2013.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0296592-03
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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3 3
다중 스퍼터링장치 내부에 이격 배치된 Ti타겟과 Ni타겟에 서로 상이한 전압을 인가하여 동시에 스퍼터링함으로써 다결정 NaCl 기재에 타이타늄(Ti)과 니켈(Ni)을 혼합한 상태로 증착하고, 다결정 NaCl 기재를 용해하여 분리한 상태로 500℃ 이상의 온도에서 30분 이상의 시간 동안 열처리(Annealing)하여 결정화되고, 수랭하여 B2 및 능면체정(Ti3Ni4)상을 형성하며, 타이타늄-니켈 합금박막의 전체 중량에 대하여 43
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Ti타겟과 Ni타겟 및 다결정 NaCl 기재를 준비하는 타겟준비단계와,Ti타겟과 Ni타겟을 다중 스퍼터링장치 내부에 이격시켜 배치하는 타겟설치단계와,상기 다중 스퍼터링장치의 작업 조건을 세팅하는 장치세팅단계와,상기 다중 스퍼터링장치를 동작하여 기재에 Ti과 Ni이 혼합된 상태의 Ti-Ni 합금박막을 형성하는 박막증착단계와,다결정 NaCl 기재를 물에 용해시켜 Ti-Ni 합금박막을 분리하는 박막분리단계와,상기 Ti-Ni 합금박막을 500℃ 이상의 온도에서 30분 이상의 시간 동안 열처리(Annealing)하여 결정화하는 결정화단계와,상기 결정화된 Ti-Ni 합금박막을 수랭하여 B2 및 능면체정(Ti3Ni4)상을 갖는 타이타늄-니켈 합금박막을 형성하고, 타이타늄-니켈 합금박막의 전체 중량에 대하여 43
7 7
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제 6 항에 있어서, 상기 박막증착단계는, 7mTorr의 압력이 유지되는 아르곤 분위기에서 실시됨을 특징으로 하는 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법
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2 KR1020130046661 KR 대한민국 FAMILY
3 US20150004432 US 미국 FAMILY
4 WO2013062221 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 JP2015509134 JP 일본 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 소재원천기술개발사업 액츄에어터용 Ti-Ni계 경사기능 고온형상기억합금 개발