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초음파 정밀세정장치

  • 기술번호 : KST2015128901
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전소자의 중심부에서 음압이 집중되지 않고 넓은 면적에 걸쳐서 균일한 음압이 발생하도록 하여 피세정물에 손상을 주지 않으면서 세정효율을 높일 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명 초음파 정밀세정장치는, 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치와, 세라믹과 세라믹의 상하부면에 각각 증착된 전극으로 구성되어 초음파를 발생시키는 압전소자와, 상기 압전소자의 단부에 결합되고 상기 피세정물과 대향하도록 구비되어 압전소자에서 발생하는 초음파를 피세정물에 전달하는 초음파 전달체를 포함하는 초음파 세정장치에 있어서, 상기 압전소자 또는 초음파 전달체의 중심에는 수직홀이 형성된 것이다. 초음파, 수직홀, 압전소자, 초음파 전달체, 음압 분포
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020090023661 (2009.03.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0979568-0000 (2010.08.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100902) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.19)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 서대문구
4 김상율 대한민국 경기도 안산시 상록구
5 길기범 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0167500-57
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0176023-15
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0209449-14
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2010.04.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2010.04.06 수리 (Accepted) 9-1-2010-0019982-24
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2010.04.07 수리 (Accepted) 9-1-2010-0020060-89
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0218263-76
8 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0372447-02
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0374911-22
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0383253-09
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0476358-42
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0476375-18
13 등록결정서
Decision to grant		 2010.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0365845-42
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피세정물(3)에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(1)와, 세라믹(21c)과 세라믹(21c)의 상하부면에 각각 증착된 상하부 전극(21a,21b)으로 구성되어 초음파를 발생시키는 압전소자(21)와, 상기 압전소자(21)의 단부에 결합되고 상기 피세정물(3)과 대향하도록 구비되어 상기 압전소자(21)에서 발생하는 초음파를 피세정물(3)에 전달하는 초음파 전달체(22)와, 하우징(23) 및 전원선(24)으로 구성된 진동자를 포함하는 초음파 세정장치에 있어서, 상기 압전소자(21)에는 수직홀(211)이 형성되며, 상기 압전소자(21)는 상기 초음파 전달체(22)에 적어도 둘 이상으로 구비되어 각각의 압전소자(21)는 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 수직홀(211)은 세라믹(21c)과 세라믹(21c) 상하부 전극(21a,21b)을 관통하도록 형성됨을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 수직홀(211)은 상부전극과 하부전극 중 어느 하나 이상의 전극(21a,21b)의 중심에 세라믹층을 제외하고 전극층만 제거한 모양으로 형성됨을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 초음파 전달체(22)의 중심에는 수직홀이 더 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 수직홀(221)은 초음파 전달체(22)의 상단부 일부 또는 하단부 일부에 형성되거나, 상단부와 하단부 사이를 수직 관통하도록 형성됨을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
6 6
피세정물(3)에 세정액(11)을 공급하는 세정액 공급장치(1)와, 세라믹(21c)과 세라믹(21c)의 상하부면에 각각 증착된 상하부 전극(21a,21b)으로 구성되어 초음파를 발생시키는 압전소자(21)와, 상기 압전소자(21)의 단부에 결합되고 상기 피세정물(3)과 대향하도록 구비되어 상기 압전소자(21)에서 발생하는 초음파를 피세정물(3)에 전달하는 초음파 전달체(22)와, 하우징(23) 및 전원선(24)으로 구성된 진동자를 포함하는 초음파 세정장치에 있어서, 상기 초음파 전달체(22)의 중심에는 수직홀(221)이 형성됨을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
7 7
제 6항에 있어서, 상기 수직홀(221)은 초음파 전달체(22)의 상단부 일부 또는 하단부 일부에 형성되거나, 상단부와 하단부 사이를 수직 관통하도록 형성됨을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
8 8
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전소자(21)는; 적어도 둘 이상의 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
9 9
삭제
10 10
제 1항에 있어서, 상기 압전소자는 초음파 전달체 상에서 서로 다른 높이에 위치함을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
11 11
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 초음파 전달체(22)는 적어도 둘 이상 구비되고, 상기 각 초음파 전달체(22)에는 적어도 하나 이상의 압전소자(21)로 구성되고, 상기 각 압전소자(21)는 각각 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
12 12
제 11항에 있어서, 상기 각 초음파 전달체(22)는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 초음파 정밀세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 기본사업 초정밀세정용 메가소닉기술 개발