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타겟 물질로 니켈 또는 니켈산화물을 사용하고 산소, 아르곤 또는 이들의 혼합가스를 공급하면서 진공 스퍼터링 공정을 수행하여 제조되는 유기태양전지 P형 전도막용 NiO 전도막
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제1항에 있어서, 상기 진공 스퍼터링 공정은 RF 파워를 100 - 300 W로 인가하고 아르곤, 산소 또는 이들의 혼합가스를 공급하여 공정압력 5 mTorr에서 20 - 600 초간 수행하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지 P형 전도막용 NiO 전도막
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제1항에 있어서, 상기 진공 스퍼터링 공정으로 NiO 전도막의 두께가 1 - 30 ㎚ 범위인 것을 특징으로 하는 유기태양전지 P형 전도막용 NiO 전도막
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RF 파워를 100 - 300 W로 인가하고 아르곤, 산소 또는 이들의 혼합가스를 공급하여 공정압력 5 mTorr에서 20 - 600 초간 진공 스퍼터링 공정으로 두께가 1 - 30 ㎚ 범위로 제조되는 NiO 전도막의 제조방법
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기판/양극/P형 전도막/광활성층/음극의 순서로 적층되는 유기태양전지에 있어서, 상기 P형 전도막은 타켓 물질로 니켈 또는 니켈 산화물을 사용하고 아르곤, 산소 또는 이들의 혼합가스를 공급하면서 진공 스퍼터링 공정으로 제조되는 NiO 전도막인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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기판/양극/P형 전도막/광활성층/N형 전도막/음극의 순서로 적층되는 유기태양전지에 있어서, 상기 P형 전도막은 타켓 물질로 니켈 또는 니켈산화물을 사용하고 아르곤, 산소 또는 이들의 혼합가스를 공급하면서 진공 스퍼터링 공정으로 제조되는 NiO 전도막인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제6항에 있어서, 상기 N형 전도막은 산화아연(ZnO), 산화티타늄(TiO2) 또는 탄산세슘(Cs2CO3)인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제7항에 있어서, 상기 산화아연 전도막은 아연 아세테이트(Zinc acetate), 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol) 및 에탄올아민(ethanolamine)으로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 100 - 250 ℃에서 1 - 30 분간 열처리하여 산화아연 전도막의 두께가 10 - 200 ㎚ 범위로 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제7항에 있어서, 상기 산화티타늄 전도막은 티타늄 이소프로포옥사이드(Ti[OCH(CH3)2]4), 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol) 및 에탄올아민(ethanolamine)으로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 80 - 250 ℃에서 1 - 120 분간 열처리하여 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제7항에 있어서, 상기 탄산세슘 전도막은 탄산세슘(Cs2CO3) 및 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol)로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 100 - 200 ℃에서 1 - 30 분간 열처리하여 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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기판/양극/N형 전도막/광활성층/P형 전도막/음극의 순서로 적층되는 유기태양전지에 있어서, 상기 P형 전도막은 타켓 물질로 니켈 또는 니켈산화물을 사용하고 아르곤, 산소 또는 이들의 혼합가스를 공급하면서 진공 스퍼터링 공정으로 제조되는 NiO 전도막인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제11항에 있어서, 상기 N형 전도막은 산화아연(ZnO), 산화티타늄(TiO2) 또는 탄산세슘(Cs2CO3)인 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제12항에 있어서, 상기 산화아연 전도막은 아연 아세테이트(Zinc acetate), 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol) 및 에탄올아민(ethanolamine)으로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 100 - 250 ℃에서 1 - 30 분간 열처리하여 산화아연 전도막의 두께가 10 - 200 ㎚ 범위로 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제12항에 있어서, 상기 산화티타늄 전도막은 티타늄 이소프로포옥사이드(Ti[OCH(CH3)2]4), 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol) 및 에탄올아민(ethanolamine)으로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 80 - 250 ℃에서 1 - 120 분간 열처리하여 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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제12항에 있어서, 상기 탄산세슘 전도막은 탄산세슘(Cs2CO3) 및 2-메톡시에탄올(2-Methoxyethanol)로 이루어진 혼합용액을 500 - 5000 rpm으로 스핀코팅하고, 대기 분위기 100 - 200 ℃에서 1 - 30 분간 열처리하여 제조되는 것을 특징으로 하는 광전변환효율이 향상된 유기태양전지
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