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자기예압 및 운동오차 보정 기능을 갖는 정압베어링이송장치

  • 기술번호 : KST2015128943
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 영구자석의 자력에 의한 예압을 발생시키고 예압에 작용되는 자력을 변화시켜 정압베어링의 부상간극을 조정할 수 있는 자기예압 및 운동오차 보정기능을 갖는 정압베어링 이송장치를 제공함에 있는 것이다. 이를 위하여 본 발명의 구성은 테이블과 마주하는 한쪽면에만 가이드면이 형성되는 가이드와, 상기 가이드면과 대응되게 정압베어링 패드가 배치되는 테이블과, 상기 가이드와 테이블 사이에 예압을 발생시키는 자기예압장치와, 상기 자기예압장치를 제어하는 제어기 및 해당 전류를 인가시키는 전력증폭기가 구비된 운동오차 보상 제어수단을 포함하며, 상기 자기예압장치는 영구자석과, 상기 영구자석의 자력선과 동일선상에 위치하도록 코어에 권선되는 전자석코일로 되어 상기 자기예압장치가 정압베어링패드와 가이드 사이에 예압으로 작용하여 자기예압 및 운동오차 보정 기능을 갖는 정압베어링 이송장치를 제공한다. 따라서 본 발명은 양면패드형에서 단면패드형으로 구조가 개선됨으로써 테이블과 가이드의 단순화를 꾀하는 한편, 부상간극의 오차를 보정하여 정압베어링 가이드의 운동오차를 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 자기예압장치, 정압베어링, 패드, 양면 패드, 단면 패드, 전자석코일, 영구자석
Int. CL F16C 32/04 (2006.01)
CPC F16C 32/0465(2013.01) F16C 32/0465(2013.01)
출원번호/일자 1020040012348 (2004.02.24)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0572008-0000 (2006.04.11)
공개번호/일자 10-2005-0086027 (2005.08.30) 문서열기
공고번호/일자 (20060417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.02.24)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노승국 대한민국 대전광역시유성구
2 박천홍 대한민국 대전광역시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김흥진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호 (역삼동, 하나빌딩)(테크빌국제특허법률사무소)
2 이풍우 대한민국 서울특별시 강남구 양재대로 **길** *층(일원동)(특허법인 대한(양재분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0076050-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2005-0071272-73
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0599461-27
6 의견서
Written Opinion		 2006.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2006-0020357-52
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0020355-61
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0203742-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
삭제
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테이블(10)과 마주하는 한쪽면에만 가이드면(21)이 형성되는 가이드(20)와, 상기 가이드면(21)과 대응되게 정압베어링 패드(30)가 배치되는 테이블(10)과, 상기 가이드(20)와 테이블(10) 사이에 예압을 발생시키는 자기예압장치(40)와, 상기 자기예압장치(40)를 제어하는 제어기 및 상기 제어신호에 따라 해당 전류를 인가시키는 전력증폭기가 구비된 운동오차 보상 제어수단(60)을 포함하는 정압베어링 이송장치에 있어서,상기 자기예압장치(40)는 영구자석(41)과, 상기 영구자석(41)의 자력선과 동일선상에 위치하는 코어(43)와, 상기 코어(43)에 권선되는 전자석코일(42)과, 상기 영구자석(41)이 테이블(10)에 지지되어 있는 고정브라켓(45)이 구성되는 것을 특징으로 하는 자기예압 및 운동오차 보정기능을 갖는 정압베어링 이송장치
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테이블(10)과 마주하는 한쪽면에만 가이드면(21)이 형성되는 가이드(20)와, 상기 가이드면(21)과 대응되게 정압베어링 패드(30)가 배치되는 테이블(10)과, 상기 가이드(20)와 테이블(10) 사이에 예압을 발생시키는 자기예압장치(40)와, 상기 자기예압장치(40)를 제어하는 제어기 및 상기 제어신호에 따라 해당 전류를 인가시키는 전력증폭기가 구비된 운동오차 보상 제어수단(60)을 포함하는 정압베어링 이송장치에 있어서,상기 자기예압장치(40)는 영구자석(41)과, 상기 영구자석(41)의 자력선과 동일선상에 위치하는 코어(43)와, 상기 코어(43)에 권선되는 전자석코일(42)과, 상기 영구자석(41)이 테이블(10)에 지지되어 있는 고정브라켓(45)이 구성되는 것을 특징으로 하는 자기예압 및 운동오차 보정기능을 갖는 정압베어링 이송장치
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