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판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치

  • 기술번호 : KST2015128970
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상에 증착 또는 전사된 2차원 구조를 갖는 나노박막을 롤러 또는 슬라이더로 가압하여 나노박막과 기판사이를 강하고 균일하게 접착시킴으로써 나노박막의 전기적, 기계적 및 광학적 특성을 향상시킬 수 있는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL B41M 5/03 (2006.01)
CPC B41M 5/03(2013.01) B41M 5/03(2013.01)
출원번호/일자 1020120060650 (2012.06.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1241964-0000 (2013.03.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130311) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2012-0015041 (2012.02.14)
관련 출원번호 1020120015041
심사청구여부/일자 Y (2012.06.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광섭 대한민국 대전광역시 유성구
2 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
3 최현주 대한민국 대전광역시 유성구
4 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
5 이승모 대한민국 대전광역시 유성구
6 김상민 대한민국 대구광역시 수성구
7 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
8 이학주 대한민국 대전광역시 서구
9 김경식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0450918-82
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0461219-33
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0529987-98
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0837801-60
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0837809-24
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0742319-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상면에 나노박막(120)이 형성된 기판(110)이 고정되어 X축 방향으로 이동되도록 형성되는 이송 스테이지(100); 및상기 이송 스테이지(100)의 상측에 구비되어 Z축 방향으로 이동 및 하중제어가 가능하고 회전되도록 형성되어, 상기 나노박막(120)을 기판(110)에 밀착시키는 가압 롤러(200); 를 포함하여 이루어지며,상기 가압 롤러(200)의 외주면은 2층 이상의 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 이송 스테이지(100)는 고정되고,상기 가압 롤러(200)는 상기 이송 스테이지(100)의 상측에 구비되어 Z축 방향으로 이동 및 하중제어가 가능하고 X축 방향으로 이동 가능하도록 형성되어, 상기 나노박막(120)을 기판(110)에 밀착시키는 실린더형 슬라이더(200a)인 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 이송 스테이지(100)는 고정되고,상기 가압 롤러(200)는 상기 이송 스테이지(100)의 상측에 구비되어 Z축 방향으로 이동 및 하중제어가 가능하고 X축 및 Y축 방향으로 이동 가능하도록 형성되어, 상기 나노박막(120)을 기판(110)에 밀착시키는 구형 슬라이더(200b)인 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 기판(110) 및 나노박막(120)을 가열하기 위한 가열수단(300)이 구비되는 것을 특징으로 하는 판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
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1 KR101173300 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발(2단계 1/3)
2 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) 10nm급 측정 원천기술개발 (4/4)