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마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법

  • 기술번호 : KST2015128986
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법은 기판에 유기물 전구체용액을 코팅하여 코팅층을 형성하는 코팅단계; 제 1패턴이 형성된 몰드로 상기 코팅층을 가압하여 제 2패턴을 형성하는 가압단계; 상기 몰드를 상기 코팅층으로부터 제거하는 몰드제거단계; 및 상기 제 2패턴이 형성된 코팅층에 마이크로웨이브를 10초 이상 내지 1분 미만 동안 조사하는 조사단계;를 포함하여 이루어지며, 상기 유기물 전구체 용액은, 고분자 전구체 또는 금속-유기물 전구체 중 적어도 하나를 포함하며, 상기 고분자 전구체는 고분자수지에 열경화성 개시제가 결합되어 이루어지며, 상기 금속-유기물 전구체는 금속에 리간드가 결합하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 마이크로웨이브와 이에 최적화된 유기물 전구체용액을 이용함으로써, 종래와 달리, 레지스트없이 직접 패터닝이 가능하여, 공정이 단축되고 경제성을 향상시킬 수 있으며, 종래와 달리, 마이크로웨이브를 최적의 주파수와 파장으로 조사하고,이에 최적화된 유기물 전구체용액을 사용함으로써, 종래보다 최대 3000배가량 빠르게 경화-소성처리할 수 있어, 효율적인 장점이 있다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) B29C 59/16 (2006.01) B29C 35/08 (2006.01)
CPC B29C 59/16(2013.01)B29C 59/16(2013.01)B29C 59/16(2013.01)
출원번호/일자 1020110034330 (2011.04.13)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1334920-0000 (2013.11.25)
공개번호/일자 10-2012-0116714 (2012.10.23) 문서열기
공고번호/일자 (20131129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최대근 대한민국 대전광역시 유성구
2 이기중 대한민국 대전광역시 동구
3 최준혁 대한민국 대전광역시 유성구
4 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
5 김기돈 대한민국 서울특별시 중구
6 정주연 대한민국 대전광역시 유성구
7 정준호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0271895-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.05.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0039214-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0080170-95
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0294094-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0397732-43
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-0397720-06
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0601124-26
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0883835-69
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2013.09.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0883854-26
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2013.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0700833-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
기판에 유기물 전구체용액을 코팅하여 코팅층을 형성하는 코팅단계;제 1패턴이 형성된 몰드로 상기 코팅층을 가압하여 제 2패턴을 형성하는 가압단계;상기 몰드를 상기 코팅층으로부터 제거하는 몰드제거단계; 및상기 제 2패턴이 형성된 코팅층에 마이크로웨이브를 10초 이상 내지 1분 미만 동안 조사하는 조사단계;를 포함하여 이루어지며, 상기 유기물 전구체 용액은, 고분자 전구체를 포함하며, 상기 고분자 전구체는 고분자수지에 열경화성 개시제가 결합되어 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 조사단계에서, 상기 마이크로웨이브의 주파수는 300MHz 내지 1THz인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 조사단계에서, 상기 마이크로웨이브의 파장은 0
4 4
삭제
5 5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 조사단계에서, 상기 마이크로웨이브의 출력은 10와트(W) 내지 1500와트(W)인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서,상기 고분자수지는, 아크릴레이트기, 메타아크릴레이트기, 비닐기 또는 에폭시기 중 적어도 하나를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
9 9
제 1항에 있어서,상기 열경화성개시제는, 4,4'-아조비스(4-시아노발레르산)[4-4,4'-Azobis(4-cyanovaleric acid)], 2,2'-아조비스(2-메틸프로피오노나이트릴)[2-2,2'-Azobis(2-methylpropionitrile)], 벤조일퍼옥사이드[Benzoyl Peroxide], 2,2-비스(t-부틸러옥시)부탄[2,2-Bis(tert-butylperoxy)butane], 2,5-비스(t-부틸퍼옥시)-2,5-디메틸헥산[2,5-Bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane], 비스[1-(t-부틸퍼옥시)-1-메틸에틸]벤젠[Bis[1-(tert-butylperoxy)-1-methylethyl]benzene], t-부틸 하이드로퍼옥사이드[tert-Butyl hydroperoxide], t-부틸 페라세테이트[tert-Butyl peracetate], t-부틸 퍼옥사이드[tert-Butyl peroxide], t-부틸 퍼옥시벤조에이트[tert-Butyl peroxybenzoate], 쿠멘 하이드로퍼옥사이드[Cumene hydroperoxide], 디큐밀 퍼옥사이드[Dicumyl peroxide], 라우로일 퍼옥사이드[Lauroyl peroxide], 페르아세틱산[Peracetic acid] 또는 포타슘 퍼설페이트[Potassium persulfate] 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 가압단계에서, 상기 코팅층에 가해지는 압력은, 0
14 14
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 가압단계에서, 상기 제 1패턴은, 요철구조의 패턴인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 패턴형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 비노광 기반 나노구조체 제작기술(2/3)